項目名稱 | 真空磁控濺射設(shè)備 | 項目編號 | TYLGJJCG2022-0305 |
項目編號 | TYLGJJCG2022-0305 | ||
公告發(fā)布日期 | 2022/12/05 16:31 | 公告截止日期 | 2022/12/08 16:31 |
公告截止日期 | 2022/12/08 16:31 | ||
采購單位 | 太原理工大學(xué) | 付款條款 | 合同簽訂后預(yù)付合同金額的80%,貨到驗收合格后一次性支付剩余款項。 |
付款條款 | 合同簽訂后預(yù)付合同金額的80%,貨到驗收合格后一次性支付剩余款項。 | ||
聯(lián)系人 | 中標后在我參與的項目中查看 | 聯(lián)系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 |
聯(lián)系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 | ||
是否本地化服務(wù) | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
是否需要踏勘 | 否 | ||
采購預(yù)算 | ¥198,000.00 | ||
送貨/施工/服務(wù)期限 | 合同生效之日起90日內(nèi) | ||
送貨/施工/服務(wù)地址 | 太原市萬柏林區(qū)迎澤西大街79號 |
采購清單
1
采購內(nèi)容 | 是否進口 | 計量單位 | 采購數(shù)量 | 售后服務(wù) | |
真空磁控濺射設(shè)備 | 否 | 套 | 1 | 1)所有儀器到達用戶指定地點后,技術(shù)工程師在接到用戶安裝調(diào)試要求10個工作日內(nèi)上門免費安裝、調(diào)試。; 2)質(zhì)保期為儀器安裝驗收合格后1年,質(zhì)保期內(nèi),所有服務(wù)及配件全部免費; 3)制造商應(yīng)終身負責維護維修。在用戶提出維修要求5個工作日內(nèi)到達現(xiàn)場,及時幫助客戶解決問題,并免費對軟件進行升級; 4)供貨商免費提供現(xiàn)場培訓(xùn),同時應(yīng)提供2名(每臺套)廠家培訓(xùn)中心免費培訓(xùn)名額。 | |
品牌及型號 | 華析 (HC-300) 泰科諾(JCP350) | ||||
技術(shù)參數(shù)要求 | 1.真空磁控濺射設(shè)備主要由真空腔室、磁控濺射靶、電源、基片臺、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏半自動控制系統(tǒng)等組成。 2.真空腔室: 1)結(jié)構(gòu):采用立式、圓柱體、氣缸助力上翻蓋結(jié)構(gòu); 2)材質(zhì)及尺寸:采用SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼,Ф350×H350mm真空腔室;頂板焊水線; 3)腔室底部:2英寸圓形平面靶均勻分布;進氣電磁截止閥;充氣閥; 4)腔室頂部:旋轉(zhuǎn)基片臺;及自動翻蓋機構(gòu); 5)側(cè)部:DN150主抽氣口;前方配有一套觀察窗及擋板接口; 6)旋轉(zhuǎn)共濺射基片臺接口位于鍍膜室的頂部; 7)預(yù)留接口:裝膜厚儀以及其它用途; 8)Φ100mm觀察窗及擋板,位于前面; 9)腔室防污屏蔽板采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì),便于拆卸清理、更換等。 3.基片臺:抽屜式結(jié)構(gòu),基片臺尺寸Φ120mm,最大樣品尺寸小于Φ120mm:配有氣動基片臺擋板;配備通用夾具,方便用戶裝卡各種不同規(guī)格尺寸的基片;絕緣裝置:絕緣設(shè)計及絕緣件;基片臺電機驅(qū)動:旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速0~20轉(zhuǎn)/分鐘,連續(xù)可調(diào);主軸磁流體密封;加熱:基片臺環(huán)境溫度800℃,采用鎧裝加熱器及絕緣、屏蔽等;采用固態(tài)繼電器和PID可編程智能溫度控制儀方式,實現(xiàn)加熱溫度自動控制。 4.濺射靶及電源:2只2英寸磁控濺射靶,靶角度、靶基距手動可調(diào),永磁間接水冷方式,兼容直流、脈沖、射頻等電源;靶基距調(diào)整范圍80~110mm,方便調(diào)整最佳鍍膜距離;直流脈沖濺射電源1kW,數(shù)字化控制及顯示,1臺;射頻電源RF500W, 數(shù)字化控制及顯示,1臺;脈沖偏壓電源:-1kV,數(shù)字化控制及顯示,1臺。 5.真空系統(tǒng):復(fù)合分子泵:JTFB-600,抽速600L/s;直聯(lián)高速旋片式真空泵:TRP-24,抽速6L/s,合資品牌,抽速快,低噪音;前級/旁路閥:DN40,氣動擋板閥;真空測量:“兩低一高”數(shù)顯復(fù)合真空計。 6.工作氣路系統(tǒng):質(zhì)量流量控制器及量程范圍:Ar,100sccm;N2,20sccm;電磁截止閥:Φ6mm;混氣管:三進一出。 7.氣路系統(tǒng):電接點壓力表,用于氣體壓力保護報警;氣排,用于各閥門之間分氣使用。 8.電氣控制系統(tǒng):1)采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),可實現(xiàn)自動一鍵式抽真空;2)控制內(nèi)容:機械泵、前級閥的開與關(guān);分子泵顯示及開關(guān)控制;真空計參數(shù)顯示及控制;基片臺轉(zhuǎn)速控制等;3)安全保護報警系統(tǒng):在缺水、水壓過低情況下的報警系統(tǒng);完善的邏輯程序互鎖保護系統(tǒng)。 9.含低噪音Ⅰ型空壓機一臺;含冷卻循環(huán)水機一臺。 10.機架控制柜:機架和控制柜一體化設(shè)計,碳鋼制作,底下配腳輪,方便移動、定位。 |