哈爾濱工業(yè)大學(xué)高真空表面活化鍵合系統(tǒng)國際招標(biāo)
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2020-07-22 閱讀
天和項(xiàng)目管理有限公司受招標(biāo)人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2020-07-22在中國國際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用電子招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:哈爾濱工業(yè)大學(xué)高真空表面活化鍵合系統(tǒng)
資金到位或資金來源落實(shí)情況:國撥資金330萬元，資金已落實(shí)
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:項(xiàng)目已批復(fù)
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號:2243-204THJD20015
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:哈爾濱工業(yè)大學(xué)高真空表面活化鍵合系統(tǒng)
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國黑龍江省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1.符合《中華人民共和國政府采購法》第22條規(guī)定的投標(biāo)人；
2.本次招標(biāo)項(xiàng)目的資質(zhì)要求：
⑴對于國外、境外投標(biāo)人，根據(jù)該國（地區(qū)）的法律在經(jīng)營所在地注冊的有關(guān)證件、所投產(chǎn)品的合法來源證明（經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權(quán)函）（代理商作為投標(biāo)人適用）。
⑵對于國內(nèi)投標(biāo)人，提供投標(biāo)人的企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書、所投產(chǎn)品的合法來源證明（經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權(quán)函）（代理商作為投標(biāo)人適用）。
3.投標(biāo)人在線購買招標(biāo)文件前，須在必聯(lián)網(wǎng)電子招標(biāo)投標(biāo)平臺上傳以下證明材料的彩色掃描件：
國外、境外投標(biāo)人：授權(quán)委托書、被授權(quán)委托人的身份證明、經(jīng)營所在地注冊的有關(guān)證件、經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權(quán)函（代理商作為投標(biāo)人適用）、《哈爾濱工業(yè)大學(xué)招標(biāo)采購項(xiàng)目投標(biāo)報(bào)名登記表》、《投標(biāo)人誠信承諾書》。
國內(nèi)投標(biāo)人：授權(quán)委托書；被授權(quán)委托人的身份證；營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書；基本賬戶開戶許可證或基本存款賬戶信息單；經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權(quán)函（代理商作為投標(biāo)人適用）；《哈爾濱工業(yè)大學(xué)招標(biāo)采購項(xiàng)目投標(biāo)報(bào)名登記表》；《投標(biāo)人誠信承諾書》。在受理投標(biāo)登記后，不允許更換投標(biāo)登記時擬派的授權(quán)委托人。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時間:2020-07-22
招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2020-07-29
是否在線售賣標(biāo)書:是
獲取招標(biāo)文件方式:電子下載
招標(biāo)文件售價:￥500/$80
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時間（開標(biāo)時間）:2020-08-13 09:00
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):在投標(biāo)截止時間前，將投標(biāo)文件電子版上傳至必聯(lián)電子招標(biāo)投標(biāo)平臺，并使用CA鎖進(jìn)行加密。
開標(biāo)地點(diǎn):www.ebnew.com必聯(lián)平臺開標(biāo)大廳
6、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)
地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號
聯(lián)系人:張老師
聯(lián)系方式:86-0451- 86417955
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):天和項(xiàng)目管理有限公司
地址:哈爾濱市道里區(qū)鋼鐵街115號
聯(lián)系人:王先生
聯(lián)系方式:13154501501
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:哈爾濱工業(yè)大學(xué)高真空表面活化鍵合系統(tǒng)
資金到位或資金來源落實(shí)情況:國撥資金330萬元，資金已落實(shí)
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:項(xiàng)目已批復(fù)
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號:2243-204THJD20015
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:哈爾濱工業(yè)大學(xué)高真空表面活化鍵合系統(tǒng)
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國黑龍江省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 高真空表面活化鍵合系統(tǒng) | 1套 | 1 設(shè)備名稱： 高真空表面活化鍵合系統(tǒng) 2 數(shù)量： 1套 3 設(shè)備用途說明： 高真空表面活化鍵合系統(tǒng)主要用于金屬、半導(dǎo)體及陶瓷等材料的室溫高強(qiáng)度鍵合，設(shè)備配備雙高真空室，氬（Ar）原子束活化源、真空機(jī)械轉(zhuǎn)移及高精度壓力傳感裝置，可應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片及未來光通訊芯片的制造。 4 技術(shù)要求及參數(shù)： 詳細(xì)見：技術(shù)性能指標(biāo)表。 加“★”條款為必須滿足的條款，不得偏離，有任何一項(xiàng)不滿足將導(dǎo)致廢標(biāo)。 加“▲”條款為重要條款，不滿足則扣5分，普通項(xiàng)不滿足則扣3分。 編號 招標(biāo)技術(shù)指標(biāo)名稱 招標(biāo)技術(shù)指標(biāo)值 1 應(yīng)用范圍和要求 高真空表面活化鍵合系統(tǒng)主要用于金屬、半導(dǎo)體及陶瓷等材料的室溫高強(qiáng)度鍵合，設(shè)備配備雙高真空室，氬（Ar）原子束活化源、真空機(jī)械轉(zhuǎn)移及高精度壓力傳感裝置，可應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片及未來光通訊芯片的制造。 2 性能指標(biāo) 1、表面活化鍵合系統(tǒng) ★1.1 高速氬（Ar）原子束為活化源 （電源供電電壓：1kV，電流：200mA， 正常使用電壓：1kV， 電流：100mA) 1.2 晶圓有效活化面積可達(dá)2英寸； 1.3 氬（Ar）氣最大流量200sccm； 1.4 配備靜電吸盤夾持2英寸及以下晶圓； ▲1.5 Z軸壓力傳感器施加鍵合壓力范圍500N~5kN； 1.6壓力傳感器行程50mm； ★1.7旋轉(zhuǎn)泵+渦輪泵保證真空度可達(dá)2×10-6Pa； 1.8配置控制系統(tǒng)：觸摸屏+鍵盤一套； 2、存放、轉(zhuǎn)移系統(tǒng) 2.1待鍵合樣品存放室極限真空度10-3Pa； ★2.2 待鍵合真空室和表面活化鍵合室雙真空室一體化； ▲2.3 真空轉(zhuǎn)移裝置完成晶圓在真空腔體內(nèi)的轉(zhuǎn)移； 3、其他要求 3.1 原裝設(shè)備生產(chǎn)制造，不接受組裝或貼牌系統(tǒng)； 3 調(diào)試培訓(xùn)服務(wù) 1.至少一次現(xiàn)場免費(fèi)培訓(xùn) 2.滿足24小時熱線服務(wù) 4 其他要求 1. 紙質(zhì)版交貨規(guī)格、說明書一份 5 配置清單及零配件（包括專用工具）： 序號 名稱 單位 數(shù)量 1 待鍵合樣品存放系統(tǒng) 套 1 2 表面活化鍵合系統(tǒng) 套 1 3 真空轉(zhuǎn)移單元 套 1 4 氣體引入系統(tǒng) 套 1 5 排氣系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)泵+渦輪泵） 套 1 6 控制系統(tǒng)（觸摸屏+鍵盤） 套 1 7 說明、操作手冊 套 1 |
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1.符合《中華人民共和國政府采購法》第22條規(guī)定的投標(biāo)人；
2.本次招標(biāo)項(xiàng)目的資質(zhì)要求：
⑴對于國外、境外投標(biāo)人，根據(jù)該國（地區(qū)）的法律在經(jīng)營所在地注冊的有關(guān)證件、所投產(chǎn)品的合法來源證明（經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權(quán)函）（代理商作為投標(biāo)人適用）。
⑵對于國內(nèi)投標(biāo)人，提供投標(biāo)人的企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書、所投產(chǎn)品的合法來源證明（經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權(quán)函）（代理商作為投標(biāo)人適用）。
3.投標(biāo)人在線購買招標(biāo)文件前，須在必聯(lián)網(wǎng)電子招標(biāo)投標(biāo)平臺上傳以下證明材料的彩色掃描件：
國外、境外投標(biāo)人：授權(quán)委托書、被授權(quán)委托人的身份證明、經(jīng)營所在地注冊的有關(guān)證件、經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權(quán)函（代理商作為投標(biāo)人適用）、《哈爾濱工業(yè)大學(xué)招標(biāo)采購項(xiàng)目投標(biāo)報(bào)名登記表》、《投標(biāo)人誠信承諾書》。
國內(nèi)投標(biāo)人：授權(quán)委托書；被授權(quán)委托人的身份證；營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書；基本賬戶開戶許可證或基本存款賬戶信息單；經(jīng)銷協(xié)議或生產(chǎn)商授權(quán)函（代理商作為投標(biāo)人適用）；《哈爾濱工業(yè)大學(xué)招標(biāo)采購項(xiàng)目投標(biāo)報(bào)名登記表》；《投標(biāo)人誠信承諾書》。在受理投標(biāo)登記后，不允許更換投標(biāo)登記時擬派的授權(quán)委托人。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時間:2020-07-22
招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2020-07-29
是否在線售賣標(biāo)書:是
獲取招標(biāo)文件方式:電子下載
招標(biāo)文件售價:￥500/$80
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時間（開標(biāo)時間）:2020-08-13 09:00
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):在投標(biāo)截止時間前，將投標(biāo)文件電子版上傳至必聯(lián)電子招標(biāo)投標(biāo)平臺，并使用CA鎖進(jìn)行加密。
開標(biāo)地點(diǎn):www.ebnew.com必聯(lián)平臺開標(biāo)大廳
6、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)
地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號
聯(lián)系人:張老師
聯(lián)系方式:86-0451- 86417955
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):天和項(xiàng)目管理有限公司
地址:哈爾濱市道里區(qū)鋼鐵街115號
聯(lián)系人:王先生
聯(lián)系方式:13154501501
