序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
1 | 真空快速退火爐 | 2套 | 離子注入/接觸退火;快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);應(yīng)可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用;SiAu, SiAl, SiMo合金化;晶體化,致密化;太陽能電池片鍵合。 退火樣片尺寸:一次可以對(duì)1片4英寸(或者小于4 英寸的樣品)退火(或更優(yōu))。 | 預(yù)算金額:人民幣90萬元 |