高真空離子鍍膜金屬濺射機(jī)招標(biāo)
標(biāo)簽：
2018-08-13 閱讀
上海機(jī)電設(shè)備招標(biāo)有限公司受招標(biāo)人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2018-08-10在中國國際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:中芯集成電路制造（紹興）有限公司計(jì)劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目購買一批工藝生產(chǎn)設(shè)備
資金到位或資金來源落實(shí)情況:資金已到位
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號:0613-184022152955/03
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目第八批——高真空離子鍍膜金屬濺射機(jī)和深孔硅刻蝕
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國浙江省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
高真空離子鍍膜金屬濺射機(jī) 1臺 高真空離子鍍膜金屬濺射機(jī)：實(shí)現(xiàn)深寬比（3:1）溝槽的厚鋁銅金屬薄膜濺射沉積 深孔硅刻蝕：1.Si深度目標(biāo)~ 430μm 2.高刻蝕速率，高出貨量 3. 條紋/側(cè)壁粗糙度良好
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1）具有獨(dú)立的法人資格，相應(yīng)的經(jīng)營范圍。投標(biāo)方應(yīng)具有正規(guī)注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內(nèi)應(yīng)有專門負(fù)責(zé)的經(jīng)驗(yàn)豐富的維修工程師和專門的技術(shù)應(yīng)用支持工程師。2）投標(biāo)人提供的設(shè)備需要在業(yè)界有安裝使用的經(jīng)驗(yàn)
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時(shí)間:2018-08-10
招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時(shí)間:2018-08-17
是否在線售賣標(biāo)書:否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購
招標(biāo)文件領(lǐng)購地點(diǎn)：上海市長壽路285號16樓
招標(biāo)文件售價(jià):￥500/$80
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間（開標(biāo)時(shí)間）:2018-08-31 09:30
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):上海市長壽路285號恒達(dá)廣場22樓
開標(biāo)地點(diǎn):上海市長壽路285號恒達(dá)廣場22樓開標(biāo)大廳
6、投標(biāo)人在投標(biāo)前需在中國國際招標(biāo)網(wǎng)上完成注冊。評標(biāo)結(jié)果將在中國國際招標(biāo)網(wǎng)公示。
7、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:中芯集成電路制造（紹興）有限公司
地址:中國浙江省紹興市越城區(qū)皋埠鎮(zhèn)臨江路518號
聯(lián)系人:蔡娟
聯(lián)系方式:+86-21-38610000
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):上海機(jī)電設(shè)備招標(biāo)有限公司
地址:上海市長壽路285號
聯(lián)系人:應(yīng)秋祺 王鼎 潘永亮
聯(lián)系方式:86-21-32557723
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:中芯集成電路制造（紹興）有限公司計(jì)劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目購買一批工藝生產(chǎn)設(shè)備
資金到位或資金來源落實(shí)情況:資金已到位
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號:0613-184022152955/03
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目第八批——高真空離子鍍膜金屬濺射機(jī)和深孔硅刻蝕
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國浙江省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
高真空離子鍍膜金屬濺射機(jī) 1臺 高真空離子鍍膜金屬濺射機(jī)：實(shí)現(xiàn)深寬比（3:1）溝槽的厚鋁銅金屬薄膜濺射沉積 深孔硅刻蝕：1.Si深度目標(biāo)~ 430μm 2.高刻蝕速率，高出貨量 3. 條紋/側(cè)壁粗糙度良好
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:1）具有獨(dú)立的法人資格，相應(yīng)的經(jīng)營范圍。投標(biāo)方應(yīng)具有正規(guī)注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內(nèi)應(yīng)有專門負(fù)責(zé)的經(jīng)驗(yàn)豐富的維修工程師和專門的技術(shù)應(yīng)用支持工程師。2）投標(biāo)人提供的設(shè)備需要在業(yè)界有安裝使用的經(jīng)驗(yàn)
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時(shí)間:2018-08-10
招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時(shí)間:2018-08-17
是否在線售賣標(biāo)書:否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購
招標(biāo)文件領(lǐng)購地點(diǎn)：上海市長壽路285號16樓
招標(biāo)文件售價(jià):￥500/$80
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間（開標(biāo)時(shí)間）:2018-08-31 09:30
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):上海市長壽路285號恒達(dá)廣場22樓
開標(biāo)地點(diǎn):上海市長壽路285號恒達(dá)廣場22樓開標(biāo)大廳
6、投標(biāo)人在投標(biāo)前需在中國國際招標(biāo)網(wǎng)上完成注冊。評標(biāo)結(jié)果將在中國國際招標(biāo)網(wǎng)公示。
7、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:中芯集成電路制造（紹興）有限公司
地址:中國浙江省紹興市越城區(qū)皋埠鎮(zhèn)臨江路518號
聯(lián)系人:蔡娟
聯(lián)系方式:+86-21-38610000
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):上海機(jī)電設(shè)備招標(biāo)有限公司
地址:上海市長壽路285號
聯(lián)系人:應(yīng)秋祺 王鼎 潘永亮
聯(lián)系方式:86-21-32557723
