氣冷羅茨螺桿真空機(jī)組，是以氣冷羅茨真空泵為主泵，螺桿真空泵為前級泵的抽氣系統(tǒng)，此機(jī)組過流部分沒有任何液體作工作液，極限壓力不受水溫影響，對被抽工藝氣體不產(chǎn)生二次污染，便于排出氣體的回收。
　　
　　由于選擇了氣冷羅茨泵作為主泵，那么整套機(jī)組的工作壓力范圍就十分寬廣，可以從幾百帕到幾萬帕；尤其適用于抽氣量大，但工作真空卻在100mbar以上；用單臺螺桿泵不僅抽氣量達(dá)不到，而且全世界都沒有生產(chǎn)那么大抽氣量的，此時唯有與三葉氣冷羅茨泵串聯(lián)起來組成機(jī)組方可滿足此工藝要求；
　　
　　由于主泵及前級泵均采用了干式真空泵，因此氣冷羅茨螺桿干泵真空機(jī)組具有以下主要特點：
　　
　　*  泵腔內(nèi)無油，對被抽系統(tǒng)無污染，可獲得潔凈真空。
　　
　　*  泵腔內(nèi)無油，非常容易實現(xiàn)對溶劑的回收。
　　
　　*  羅茨泵泵腔全部鍍鎳層處理，螺桿泵泵腔鍍鎳磷涂層或PTFE涂層處理，可抽除水蒸汽、溶劑氣體及多種腐蝕性介質(zhì)。
　　
　　因工作過程中無廢油、廢水的排放，對環(huán)境無污染。
　　
　　對冷卻水的要求較低，對于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿足要求，且冷卻水量較小。
　　
　　該機(jī)組主泵采用了本公司自行研發(fā)的ZJQ系列氣冷羅茨真空泵，我公司將泵腔與軸承腔的密封進(jìn)行改進(jìn)后的ZJQ系列氣冷羅茨真空泵在抽除大量水蒸汽及各類溶劑的工藝中泵油不易乳化。
　　
　　前級泵采用了本公司自行研發(fā)的DP系列螺桿真空泵，運行穩(wěn)定可靠，由于在泵腔及齒輪腔之間采用了機(jī)械密封，DP系列螺桿真空泵在不充入氮氣保護(hù)的情況下仍然可以穩(wěn)定工作。
　　
　　氣冷羅茨螺桿真空機(jī)組是由氣冷羅茨泵與螺桿泵串聯(lián)組成，同時配有管路、閥門、機(jī)架及電器控制箱等，當(dāng)前級螺桿泵工作后，由真空規(guī)頭及真空繼電器來控制羅茨泵起動。由于羅茨泵與螺桿泵轉(zhuǎn)動部件都是不接觸件，因此機(jī)組具備運轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低、振動小，結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小等優(yōu)點。 用途： 氣冷羅茨螺桿真空機(jī)組因節(jié)能效果明顯，高真空區(qū)抽氣量大，真空度高 , 是電工、電子鍍膜、冶煉、熱處理、干燥、蒸餾、制藥、化工、等行業(yè)理想的抽氣設(shè)備。特別適用于要求無油蒸汽污染的半導(dǎo)體行業(yè)，同時也適用于含有大量水蒸汽及少量粉塵的場合。
　　
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