【康沃真空網(wǎng)】漢鐘精機(jī)針對(duì)大腔體抽空需求，隆重推出PDH系列干式螺桿真空泵。采用創(chuàng)新齒形和負(fù)載調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，PDH系列以其高效、穩(wěn)定、節(jié)能的特性，成為大腔體抽空的理想選擇。通過(guò)不同的冷卻方式、防腐涂層和密封結(jié)構(gòu)，PDH系列可廣泛應(yīng)用于Loadlock至嚴(yán)苛工藝制程。

    產(chǎn)品特點(diǎn)

    1、轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)

    采用新型變螺距轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)卓越的壓縮效率和穩(wěn)定的氣體傳輸。

    特殊螺桿設(shè)計(jì)，確保低溫高效運(yùn)行，降低能耗，提升極限真空度，減少維護(hù)成本。

    2、負(fù)載調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)

    創(chuàng)新的負(fù)載調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，快速調(diào)整壓力或流量，減輕主泵負(fù)荷。

    作為安全措施，主泵故障時(shí)保持系統(tǒng)基本運(yùn)行，減少停機(jī)時(shí)間。

    提高系統(tǒng)可靠性和靈活性，適應(yīng)多變工作條件。

    3、電氣控制系統(tǒng)

    配備專(zhuān)用控制系統(tǒng)，多功能觸控彩屏，支持多語(yǔ)言。

    具備積熱電驛保護(hù)、故障輸出、過(guò)載保護(hù)、溫度保護(hù)、流量控制、遠(yuǎn)程切換等功能。

    標(biāo)準(zhǔn)RS485通訊，可實(shí)現(xiàn)本地、遠(yuǎn)程監(jiān)控，多機(jī)聯(lián)控。

    性能參數(shù)