【康沃真空網(wǎng)】近日，湖州市鶉火光電有限公司自主研發(fā)的GW級鈣鈦礦磁控濺射設(shè)備順利出貨，各項性能指標(biāo)均超過設(shè)計預(yù)期，并通過客戶驗收。鶉火光電磁控濺射設(shè)備融合了全自主磁場電場耦合設(shè)計和布氣技術(shù)，采用圓柱陰極和低損傷濺射的設(shè)計方式，能夠有效降低電極層對鈣鈦礦層的損傷。自研的氣路系統(tǒng)設(shè)計，使得氣氛均勻性得到進一步改善，實際測試膜厚不均勻性≤5%，ITO膜層方阻≤40Ω/■（100nm厚度），具有良好的透過率（100nmITO膜層厚度，400/550/800nm波長下的透過率分別超過75%、90%和80%）。另外，設(shè)備的一鍵式腔體開合設(shè)計方式，可減少設(shè)備的維護保養(yǎng)時間，提高設(shè)備的實際生產(chǎn)效率及有效運行時間。

    此外，鶉火光電開發(fā)出氧化鎳（NiOx）空穴傳輸層磁控濺射設(shè)備量產(chǎn)線，使用金屬鎳或?qū)щ姷难趸噲A柱靶材，在Ar/O2混合氣氛中沉積氧化鎳膜層。相較于傳統(tǒng)的射頻電源結(jié)合平面陰極鍍膜工藝，鶉火光電通過采用自主研發(fā)的反應(yīng)濺射控制器，能夠提高鍍膜效率和工藝穩(wěn)定性，設(shè)備具有靶材利用率高（＞80%），鍍膜效率高（沉積速度可以提高數(shù)倍），工藝穩(wěn)定性好，膜層品質(zhì)優(yōu)異等優(yōu)勢。其中玻璃基底上NiOx膜層平均透過率高達85%，三價鎳和二價鎳比例可調(diào)，膜厚/透過率/導(dǎo)電率不均勻性≤5%。同時，得益于產(chǎn)線鍍膜效率提升，設(shè)備成本有望進一步下降。