【康沃真空網(wǎng)】針對(duì)日益嚴(yán)重的環(huán)境和能源形勢(shì)，中國(guó)在第七十五屆聯(lián)合國(guó)大會(huì)上莊嚴(yán)提出：中國(guó)的二氧化碳排放力爭(zhēng)于2030年前達(dá)到峰值、2060年實(shí)現(xiàn)碳中和，即所謂的“雙碳”目標(biāo)。光伏產(chǎn)業(yè)即是其中的重要一環(huán)，人類(lèi)利用太陽(yáng)能光伏電池發(fā)電以來(lái)，技術(shù)先后經(jīng)過(guò)了多次迭代，目前以第三代的異質(zhì)結(jié)電池為主。

    ▲圖1：光伏技術(shù)路線(xiàn)發(fā)展及迭代

    太陽(yáng)能電池板作為光伏發(fā)電設(shè)施的核心部件，它核心的半導(dǎo)體材料有：?jiǎn)尉Ч?、多晶硅、非晶硅及碲化鎘等。但其中無(wú)論是哪種類(lèi)型，電池的生產(chǎn)過(guò)程的多個(gè)環(huán)節(jié)都需要用到真空技術(shù)。可以說(shuō)沒(méi)有真空，就不可能有可再生能源。

    例如，當(dāng)前市場(chǎng)主流的晶硅電池的發(fā)展趨勢(shì)是優(yōu)化電池背面的反射層，以增加電池內(nèi)部的吸收（PERC-發(fā)射極及背面鈍化電池技術(shù)）。PERC層是由PECVD或ALD工藝經(jīng)過(guò)額外的薄膜沉積而形成，其中的PECVD或ALD工藝需要真空一般為10-3hPa~10-5hPa。

    第三代的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，結(jié)合了多種太陽(yáng)能電池技術(shù)的優(yōu)勢(shì)，例如，將太陽(yáng)能晶圓裝入真空室，進(jìn)行數(shù)道PVD和PECVD工藝，以生成多層太陽(yáng)能電池。減少薄膜沉積材料消耗，提高晶體硅電池的高效率。沉積工藝的不同，獲得的薄膜層也不一樣，但所需真空大致相似，約為10-3hPa~10-5hPa。

    ▲圖2：晶硅太陽(yáng)能電池片工藝

    ▲圖3：非晶硅薄膜電池片生產(chǎn)工藝

    上述太陽(yáng)能電池工藝都需要無(wú)碳的潔凈真空環(huán)境，同時(shí)由于電池層表面積較大，因此太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)環(huán)節(jié)對(duì)真空泵的抽速和潔凈度也提出了越來(lái)越高的要求。

    鑒于此，歷時(shí)多年，中科九微先后攻克雙軸電機(jī)同步驅(qū)動(dòng)技術(shù)、漸變螺桿的精密加工技術(shù)、特殊表面處理工藝等技術(shù)難關(guān)，并在2023年成功推出抽速高達(dá)2200m3/h和3000m3/h的節(jié)能干式真空泵，對(duì)應(yīng)型號(hào)分別為SSH2220H和SSH3020H。

    ▲圖4：SSH3020H節(jié)能干式真空泵

    SSH2220H、SSH3020H節(jié)能干式真空泵是光伏電池、平板顯示器、半導(dǎo)體生產(chǎn)等苛刻工藝以及眾多工業(yè)鍍膜應(yīng)用的理想之選。

    工作過(guò)程中，被抽介質(zhì)經(jīng)羅茨泵兩級(jí)壓縮后傳輸?shù)铰輻U泵，再由一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子沿著相反方向旋轉(zhuǎn)，將泵送的介質(zhì)吸入泵腔和螺桿之間，經(jīng)壓縮后輸送至排氣口。在此過(guò)程中，螺桿轉(zhuǎn)子間不會(huì)相互接觸，也不與泵腔接觸。

    本次新推出的兩款產(chǎn)品，融合了中科九微多年的技術(shù)積淀，具有抽速大、體積小、節(jié)能明顯和耐粉塵能力強(qiáng)等諸多優(yōu)點(diǎn)：

    螺桿轉(zhuǎn)子

    變螺距，連續(xù)壓縮，更節(jié)能

    羅茨轉(zhuǎn)子

    兩級(jí)壓縮，抽速快、壓比高

    同步電機(jī)

    變頻驅(qū)動(dòng)，智能調(diào)速

    苛刻制程

    耐腐蝕涂層（H版本）

    應(yīng)用領(lǐng)域：光伏、鍍膜、平板、半導(dǎo)體、干燥

    附：SSH系列技術(shù)參數(shù)：