【康沃真空網(wǎng)】近日，泛半導(dǎo)體智能制造整體解決方案供應(yīng)商合肥欣奕華智能機器股份有限公司（以下簡稱“合肥欣奕華”）研發(fā)的用于鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的關(guān)鍵量產(chǎn)設(shè)備 Inline 鈣鈦礦真空鍍膜機已交付國內(nèi)鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)知名公司投入生產(chǎn)。

　　鈣鈦礦型太陽能電池(Perovskite Solar Cells)是指利用鈣鈦礦型的有機半導(dǎo)體作為吸光材料的太陽能電池，被視為下一代先進太陽能電池技術(shù)。鈣鈦礦太陽能電池因為高光吸收系數(shù)、超長載流子擴散長度、低激子結(jié)合能、高缺陷容忍度、帶隙可調(diào)、制備工藝多樣等優(yōu)勢，成為第三代高效薄膜電池的代表，作為《“十四五”可再生能源發(fā)展規(guī)劃》中具有前沿性的新一代高效率、低成本的光伏創(chuàng)新技術(shù)，鈣鈦礦受到了廣泛關(guān)注，能源行業(yè)的頭部企業(yè)及一些跨界巨頭也紛紛布局，鈣鈦礦商業(yè)化量產(chǎn)進程進一步加快。

　　此次合肥欣奕華交付的Inline鈣鈦礦真空鍍膜機是國內(nèi)首臺全自主研發(fā)面世的大尺寸鈣鈦礦真空鍍膜機，屬于鈣鈦礦電池制備核心設(shè)備，采用Inline System設(shè)計，無需工業(yè)機器人即可實現(xiàn)自動上下料，降低了成本，同時其獨特的間隙管理，可提高鍍膜效率，節(jié)約材料，減少污染，并且兼容多種材質(zhì)基板。該設(shè)備滿足大面積鈣鈦礦膜層制備，有效提高材料利用率，確保大面積均勻性。“近年來我們持續(xù)加大研發(fā)投入，這款設(shè)備具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)。此次我們主要攻克了真空鍍膜技術(shù)、高速率控制技術(shù)、摻雜化學(xué)反應(yīng)的高混合比真空鍍膜技術(shù)和大面積高品質(zhì)鈣鈦礦吸收層制備技術(shù)，合肥欣奕華的Inline鈣鈦礦真空鍍膜機能實現(xiàn)高質(zhì)量均勻大面積成膜，穩(wěn)定性高?！逼髽I(yè)相關(guān)負責(zé)人表示。

　　自2015以來，合肥欣奕華一直緊跟蒸鍍機技術(shù)發(fā)展趨勢，適應(yīng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展動向，主動擁抱新工藝新技術(shù)。先后開發(fā)出應(yīng)用于OLED材料、OLED小型器件制備研究驗證以及OLED面板量產(chǎn)工藝驗證的蒸鍍機，適用于 AR/VR 近眼顯示、智能穿戴等Micro OLED面板量產(chǎn)的硅基蒸鍍機和適用于光伏鈣鈦礦電池量產(chǎn)的鈣鈦礦真空鍍膜機。