【康沃真空網(wǎng)】日前，半導(dǎo)體真空裝備制造商生波智能宣布完成億元級(jí)A輪融資。據(jù)了解，本輪融資資金將用于半導(dǎo)體先進(jìn)工藝制程設(shè)備的研發(fā)、安徽滁州明光“半導(dǎo)體大型真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目”制造基地建設(shè)、擴(kuò)充企業(yè)產(chǎn)能等。

　　生波智能及其前身公司已有超過10年發(fā)展歷史。公開資料顯示，生波智能是一家高端智能化半導(dǎo)體真空裝備制造商，以真空鍍膜工藝技術(shù)開發(fā)、真空鍍膜設(shè)備研發(fā)制造技術(shù)為核心，在等離子體源、PECVD源、PVD源等多種核心源部件擁有自主研發(fā)、制造能力。