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疫情后的第一場半導體展會,真空解決方案閃亮登場
標簽: 解決方案
2020-07-09  閱讀

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  【康沃真空網(wǎng)】6月27-29日,阿特拉斯·科普柯真空技術業(yè)務領域亮相全球領先的半導體制造技術盛會FPD China 2020,這也是今年繼疫情之后參加的第一場展會。現(xiàn)場展示了GHS VSD+系列油潤滑螺桿真空、DZS VSD+干式爪泵以及LRP VSD+液環(huán)泵。

  展品速遞

疫情后的第一場半導體展會,真空解決方案閃亮登場


  GHS VSD+

  GHS VSD+ 系列是新一代智能油潤滑螺桿真空泵與阿特拉斯·科普柯變頻技術的高效結合。

  ● 即插即用,堅固耐用

  ● 精確匹配您的運行壓力,提供峰值性能

  ● 覆蓋了抽速400至5004m3/h,極限真空度達0.35mbar(a)

  GHS VSD+ 系列是多個應用的理想選擇,廣泛應用于半導體芯片廠和面板廠的中央PV真空系統(tǒng)。

疫情后的第一場半導體展會,真空解決方案閃亮登場

  DZS VSD+

  ● 更長的使用壽命,更低的維護成本,更低的能耗,并且擁有很強的耐腐蝕性和抗塵能力

  ● 提供抽速24至394m3/h的多款型號,極限真空度可達50mbar(a)

  ● 通過Class 0零級無油認證,提供潔凈的真空環(huán)境

  該系列配備了阿特拉斯·科普柯自主研發(fā)的變頻系統(tǒng),相對于其他同類定頻產(chǎn)品DZS系列將有效節(jié)能50%以上,并可廣泛運用于氣動輸送,夾持,包裝,真空塑形,污水處理,中央氣體液體輸送系統(tǒng),印刷,醫(yī)療系統(tǒng),奶制品行業(yè)等等不同市場領域。

疫情后的第一場半導體展會,真空解決方案閃亮登場

  LPR VSD+


  ● 全新的一體化設計,即插即用,配備隔音和IP54防護等級外殼

  ● 干/濕分離設計,保護電子元器件的使用壽命

  ● 融合雙VSD變頻驅動的液環(huán)泵,確保設備始終處于優(yōu)異的性能狀態(tài)

  獨特的LRPVSD+液環(huán)泵能夠提供高性能和連接性。作為一款先進的真空解決方案,其不但能夠提供無與倫比的能源效率,還能夠以較低的成本保持運行,并且維護成本低。