2016年3月15-17日，阿特拉斯·科普柯創(chuàng)新智能型GHS 730VSD+螺桿真空泵亮相q*領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造技術(shù)盛會(huì)SEMICON China 2016，展會(huì)吸引了逾50,000名專(zhuān)業(yè)觀眾，大家也紛紛來(lái)圍觀這個(gè)體積雖小、亮點(diǎn)頗多的真空泵。

當(dāng)你在圍觀GHS VSD+時(shí)，你會(huì)了解到：

GHS VSD+系列融合了領(lǐng)先的VSD變速驅(qū)動(dòng)技術(shù)，是我們于2015年正式在中國(guó)發(fā)布的新一代智能型油潤(rùn)滑螺桿式真空泵，得益于阿特拉斯·科普柯壓縮機(jī)聲譽(yù)卓著的即插即用型設(shè)計(jì)原理，將真空泵的設(shè)計(jì)帶到一個(gè)新的高度。

性能超群：它卓越的性能遠(yuǎn)勝于常規(guī)的油潤(rùn)滑/干式旋片真空技術(shù)；

效率更高：采用z*尖端的螺桿技術(shù)、VSD變速驅(qū)動(dòng)技術(shù)及創(chuàng)新設(shè)計(jì)的電機(jī)，效率大大提高；

靜音運(yùn)行：噪音水平相當(dāng)于其它真空技術(shù)的一半左右；

綠色環(huán)保：超強(qiáng)的保油能力使得產(chǎn)品在全壓力段運(yùn)行時(shí)排氣含油量極低，保護(hù)環(huán)境。

“經(jīng)過(guò)幾個(gè)月的使用，阿特拉斯·科普柯GHS VSD+真空泵證明了它的實(shí)力。其外觀小巧整潔，運(yùn)行穩(wěn)定高效，抽氣量一直穩(wěn)定保持在生產(chǎn)線(xiàn)需求，而且耗電量也比之前有所減少，這將會(huì)給我們長(zhǎng)期使用帶來(lái)更大收益。” GHS VSD+真空泵在中國(guó)的第一家客戶(hù)無(wú)錫飛虹線(xiàn)路板廠(chǎng)就曾如此表示。

GHS VSD+在半導(dǎo)體領(lǐng)域有哪些應(yīng)用

據(jù)我們的產(chǎn)品專(zhuān)家說(shuō)，GHS VSD+在半導(dǎo)體領(lǐng)域主要應(yīng)用于晶圓制造業(yè)的制程真空和封裝業(yè)的中央真空系統(tǒng)：

在半導(dǎo)體廠(chǎng)中，廠(chǎng)務(wù)制程真空系統(tǒng)應(yīng)用于提供制程設(shè)備的真空吸盤(pán)、機(jī)械手或吸筆來(lái)搬運(yùn)傳送晶片，是廠(chǎng)務(wù)系統(tǒng)中相當(dāng)重要的組成部份；

IC封裝工藝中真空的作用是利用壓差用以真空固定(如磨片、裝片、切割工藝）、真空吸放（貼片），脫泡（注塑壓模）。

剛剛斬獲美國(guó)《工廠(chǎng)工程》雜志“年度z*佳產(chǎn)品”銀獎(jiǎng)

就在本月，憑借節(jié)能高達(dá)50%、出色的性能以及環(huán)境友好等特性，GHS VSD+系列螺桿真空泵在美國(guó)《工廠(chǎng)工程》雜志舉辦的“2015年度z*佳產(chǎn)品”(Product of the Year Award)評(píng)選中獲得銀獎(jiǎng)。