萬瑞:低溫真空泵項目通過驗收

  近日,受省科技廳委托,合肥科技局組織有關專家對省科技計劃項目“極大規(guī)模集成電路制造用低溫真空系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”進行了驗收,驗收專家組在聽取了項目實施情況匯報后,一致同意項目驗收通過。
  
  該項目產(chǎn)品經(jīng)檢測,符合相關標準,使用狀況良好。此外,該項目還獲得了實用新型專利7項,高新技術產(chǎn)品2項,參與制定行業(yè)標準1項,具有較好的經(jīng)濟與社會效益。
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