Edwards：推出全新集成式真空泵

　　日前，從Edwards集團(tuán)有限公司了解到，該公司成功推出了針對(duì)應(yīng)用材料公司制造平臺(tái)的加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用的全新集成式真空泵IPUP2。
　　
　　真空泵IPUP2是為滿足應(yīng)用材料公司的加載互鎖和輸送腔體抽真空規(guī)格而設(shè)計(jì)。IPUP2的抽氣速率和功率曲線得到了優(yōu)化，以增加機(jī)臺(tái)產(chǎn)出能力，z*大抽速可達(dá)180 m3/h，與第一代相比快89%，抽真空時(shí)間縮短54%，同時(shí)能耗節(jié)約70% (使用“綠色模式”還可進(jìn)一步節(jié)能)。該泵中采用的精密軸承確保運(yùn)行平穩(wěn)、低震動(dòng)，機(jī)油潤(rùn)滑的軸承和定時(shí)齒輪使得大修之間無(wú)需常規(guī)維護(hù)。IPUP2包括水平和垂直進(jìn)氣口，其尺寸和配置能夠與前一代泵直接互換。在測(cè)試中該泵的得分很高，平均故障間隔(Semi E10標(biāo)準(zhǔn)的MTBF)為5年，可實(shí)現(xiàn)超過(guò)300萬(wàn)次加載互鎖工作循環(huán)。
　　
　　據(jù)了解，真空泵IPUP2在加載互鎖抽真空時(shí)間、能耗和維護(hù)要求方面具有明顯優(yōu)勢(shì)，這些先進(jìn)性能結(jié)合起來(lái)為其帶來(lái)同類z*佳的性能和擁有成本。該泵已經(jīng)獲得初步成功，在應(yīng)用材料公司的多類新設(shè)備平臺(tái)上取得了使用認(rèn)證，并且已經(jīng)向主要半導(dǎo)體制造商提供超過(guò)180套系統(tǒng)。