北京北儀三十套分子泵真空系統(tǒng)通過驗(yàn)收

　　經(jīng)過近一個(gè)月時(shí)間，北京北儀創(chuàng)新企業(yè)為半導(dǎo)體材料行業(yè)某公司生產(chǎn)的三十套JFF-200分子泵機(jī)組已于近日通過客戶現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收。

　　
　　本套設(shè)備的主泵采用北儀自主研發(fā)的FFD-200/1300分子泵與TRP前級(jí)泵匹配，使得整套設(shè)備具有大抽速、高極限真空度等特點(diǎn)。觸摸屏配手鈕操作板使操作更為簡(jiǎn)便。