【康沃真空網(wǎng)】渦旋真空泵的研究始于20世紀(jì)80年代末期。

　　1988年，日本東京大學(xué)的Morishita E研制了抽速為200L/min的立式自轉(zhuǎn)型油潤滑渦旋真空泵，與公轉(zhuǎn)型渦旋真空泵相比，該泵的徑向間隙具有易于密封和控制的優(yōu)點(diǎn)。而渦旋泵與旋片泵相比，具有更高的容積效率，泵內(nèi)的振動和噪聲水平都有所降低

　　隨著半導(dǎo)體、新材料和生物制藥等行業(yè)的飛速發(fā)展，渦旋理論的不斷成熟以及人們對真空環(huán)境清潔無油的迫切要求，渦旋真空泵以其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)應(yīng)運(yùn)而生。

　　干式真空泵與油潤滑真空泵的區(qū)別在于,泵腔內(nèi)不含任何的油類和液體。因此,解決泵內(nèi)的密封和冷卻問題是干式渦旋真空泵研究的關(guān)鍵。1990年，采用水冷方式進(jìn)行冷卻的臥式干式渦旋真空泵研制成功。1998年，采用風(fēng)冷方式進(jìn)行冷卻的干式渦旋真空泵由研制成功，其主軸上裝有兩個冷卻風(fēng)扇，分別位于兩個靜盤的端部。

　　渦旋泵通過簡單的雙渦旋盤式結(jié)構(gòu)產(chǎn)生真空，即一個嵌套渦旋盤圍繞另一個旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生捕集氣體運(yùn)動的空間。氣體從周邊進(jìn)入渦旋泵，并被轉(zhuǎn)移和壓縮至中央，然后在中央處排放。

　　快速可預(yù)測的維護(hù)過程大大縮短了服務(wù)停機(jī)時間，降低了維護(hù)成本。在需要無油泵的情況下，渦旋泵是旋片泵的理想替代。