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真空鍍膜技術(shù)中常見的幾種真空泵
標(biāo)簽: 真空鍍膜真空泵
2023-09-11  閱讀

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  【康沃真空網(wǎng)】一、機(jī)械

  機(jī)械泵由電機(jī)和泵體兩大部分組成。普通型機(jī)械泵由電機(jī)通過皮帶帶動泵軸旋轉(zhuǎn);直連型機(jī)械泵是電機(jī)直接與泵軸連接,無中間傳動環(huán)節(jié)。

  機(jī)械泵是利用氣體膨脹、壓縮、排出的原理,把氣體從容器里抽出的。之所以稱之為機(jī)械泵,是因?yàn)樗抢脵C(jī)械的方法,周期性地改變泵內(nèi)吸氣腔的容積,使容器中的氣體不斷地通過泵的進(jìn)氣口膨脹到吸氣腔中,然后通過壓縮經(jīng)排氣口排出泵外。

   改變泵內(nèi)吸氣腔容積的方式有活塞往復(fù)式、定片式和旋片式,分別稱為往復(fù)式機(jī)械泵、定片式機(jī)械泵和旋片式機(jī)械泵。

  由于實(shí)際應(yīng)用中,旋片式機(jī)械泵使用較多,現(xiàn)以旋片式機(jī)械泵為例說明其工作原理。

  特點(diǎn)

  成本低廉、經(jīng)濟(jì)耐用

  工作范圍:大氣~低真空

  極限真空:10-3 torr (0.1Pa)

  缺點(diǎn):返油、振動

  使用與維護(hù)

  更換機(jī)械泵油

  清潔抽氣入口處濾網(wǎng)

  維護(hù)油過濾器濾芯

  二、羅茨泵

  羅茨真空泵(簡稱:羅茨泵)是指泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸的一種變?nèi)菡婵毡谩?/p>

  羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗(yàn),所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

  同時(shí)也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消音器,用于真空泵的噪聲治理。

  三、分子泵

  分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。

  真空鍍膜技術(shù)中常見的幾種真空泵

  常見的分子泵

  1)牽引分子泵:氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量;被驅(qū)送到泵的出口。

  2)渦輪分子泵:靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

  3)復(fù)合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。

  四、擴(kuò)散泵 

  擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一,通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級泵,它需要機(jī)械泵作為前級泵。

  真空鍍膜技術(shù)中常見的幾種真空泵