【康沃真空網(wǎng)】01鈦升華泵的結(jié)構(gòu)

　　鈦泵產(chǎn)生的超高真空

　　該泵是一種利用鈦來(lái)排氣從而產(chǎn)生超高真空的真空泵。

　　與通過(guò)冷卻獲得真空的吸附泵不同，通過(guò)加熱和升華鈦在壁面上產(chǎn)生大量活性表面，與濺射離子泵或渦輪分子泵組合使用。

　　鈦升華泵的應(yīng)用領(lǐng)域:

　　用于加速器，分析儀器等，與濺射離子泵，低溫泵，渦輪分子泵等真空泵配合使用，縮短排氣時(shí)間，提高極限壓力，增加排氣量。

　　02鈦升華泵的特點(diǎn)

　　吸氣作用產(chǎn)生真空

　　該泵是利用鈦的吸氣作用進(jìn)行排氣，可以產(chǎn)生超高真空的真空泵。

　　吸氣作用是指通過(guò)吸附氣體分子來(lái)進(jìn)行排氣。

　　吸氣的材料使用的是活性鈦，通過(guò)化學(xué)吸附來(lái)吸附氫氣、氧氣、氮?dú)?、一氧化碳和活性氣體等，提高氣體的真空度。

　　優(yōu)點(diǎn)　無(wú)油，優(yōu)異的可維護(hù)性，與離子泵并用可獲得極高真空

　　缺點(diǎn)　惰性氣體不能排氣

　　03

　　鈦升華泵的原理

　　蒸發(fā)的鈦吸附分子

　　該泵通過(guò)加熱鈦蒸發(fā)用的燈絲使其在真空中升華，在泵內(nèi)的壁面形氣體鈦的蒸鍍膜。

　　然后通過(guò)利用鈦的吸氣作用，進(jìn)行氣體的吸附，發(fā)揮排氣作用。

　　即使吸附面被氣體分子填滿，通過(guò)在其表面重疊鈦的蒸鍍膜來(lái)確保吸附面。