【康沃真空網(wǎng)】如何保護好分子泵

　　1、分子泵不能超出生產(chǎn)商規(guī)定的使用環(huán)境和使用范圍。

　　2、分子泵的高真空端應(yīng)做好保護措施避免運轉(zhuǎn)時暴露大氣而導(dǎo)致泵直接損壞。

　　3、分子泵的前級（低真空端）壓力超過生產(chǎn)商指定的最大壓力將導(dǎo)致泵的過熱，會導(dǎo)致軸承受損，情況嚴(yán)重的甚至?xí)?dǎo)致徹底失效。

　　4、避免分子泵的進(jìn)氣口和出氣口都是“死連接”，如果前級管道為固定連接，則泵殼受熱后無法膨脹，導(dǎo)致不當(dāng)?shù)牟牧蠎?yīng)力，在該固定連接中，轉(zhuǎn)子無法自由移動，且遺留下來的細(xì)微不平衡隨著時間的推移會造成軸承故障，并會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子受損。

　　5、當(dāng)無法避免顆粒物穿過分子泵的進(jìn)氣口防護罩而掉入分子泵內(nèi)時，需選擇倒置安裝或其它角度安裝。對于有形成沉積物趨向的工藝，如在  CVD（化學(xué)氣相沉積）中，涂層工藝將在轉(zhuǎn)子和殼體部件上持續(xù)進(jìn)行，這將會引發(fā)不平衡和震動，致使轉(zhuǎn)子破碎，在此類工藝中，應(yīng)采取屏蔽措施。

　　6、當(dāng)烘烤泵時，務(wù)必遵守生產(chǎn)商規(guī)定的最大烘烤溫度要求。溫度高時，需要對泵進(jìn)行冷卻。

　　7、磁場會對運行中的分子泵的轉(zhuǎn)子產(chǎn)生渦電流，這會加熱轉(zhuǎn)子并使其迅速過熱，如果這些值過高，則必須對泵進(jìn)行屏蔽。如果已知磁場的分布情況，則必須對其進(jìn)行重新部署。

　　8、在存在不同強度和持續(xù)時間的中子和伽馬輻射的情況時，這種輻射破壞安裝在泵上的電子驅(qū)動器和變頻器，在這種情況下，必須使用連接電纜將電子驅(qū)動器安裝在遠(yuǎn)離輻射的安全距離上。

　　9、按照生產(chǎn)商的規(guī)定對分子泵做好維護保養(yǎng)。