【康沃真空網(wǎng)】真空計(jì)(Vacuum Gauge),又稱規(guī),是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般利用不同氣壓下的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。按照真空計(jì)測(cè)量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類,分別是利用力學(xué)性能,利用氣體動(dòng)力學(xué)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和電熱偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
1、波爾登規(guī)(Bourdon)
2、薄膜電容規(guī)
3、皮拉尼規(guī)
4、熱電偶規(guī)
5、熱陰極電離規(guī)
6、冷陰極電離規(guī)