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無油渦旋真空泵的特點與應用領域
2022-05-11  閱讀

來源:真空技術網

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  【康沃真空網】清潔的真空環(huán)境一直是科學家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經發(fā)展到冷凝、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品.在現有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

 ?、贌o油,無摩擦——真空腔內無油,非接觸,無磨損,不產生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空;

 ?、诔闅饬看蟆p渦旋盤,結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源;

 ?、鄢闅庑矢摺獛в?-4個抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低;

 ?、芊墙佑|,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動小;

 ?、萁Y構簡單緊湊,相同尺寸下,運動半徑小,運行平穩(wěn);

  ⑥體積小,維修方便,維護費用低;

 ?、卟捎每諝饫鋮s,無需水冷。

  目前無油渦旋真空泵的應用領域為:

 ?、侔雽w行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;

 ?、诳茖W儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;

  ③機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備;

  ④化學工業(yè);

  ⑤醫(yī)療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備;

 ?、薨b行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備。