【康沃真空網(wǎng)】擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。擴(kuò)散泵是借助于噴嘴中高速噴出的油蒸汽噴流的動(dòng)量而輸送氣體的真空泵。

　　優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)運(yùn)動(dòng)件、噪音很小、使用方便、維護(hù)容易、在高真空段有較大抽速，單位抽速所需制造成本較低等，因此，其應(yīng)用面很廣。

　　缺點(diǎn)：返油、能耗高、熱效率低。提高加熱效率、降低能耗、降低返油率是多少年來(lái)擴(kuò)散泵需要解決而至今尚未完全解決的主要問(wèn)題。

　　由于真空設(shè)備長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)及其它一些因素的影響，擴(kuò)散泵的性能可能會(huì)逐漸變壞，現(xiàn)將使用中經(jīng)常出現(xiàn)的一些問(wèn)題如下;

　　1)極限真空變低，原因：

　　a.系統(tǒng)中有滲漏；

　　b.系統(tǒng)太臟；

　　c.泵油污染；

　　d.加熱功率不夠；

　　e.冷卻水不足；

　　f.過(guò)量或過(guò)冷的冷卻水；

　　g.前級(jí)壓力高；檢查密封性能及前級(jí)管道是否有泄漏現(xiàn)象；

　　h.快冷管內(nèi)有水。

　　2) 抽氣較慢，原因：

　　a.加熱功率低；

　　b.油量不足；

　　c.噴帽安裝位置不當(dāng)或受損。

　　3)進(jìn)口壓力波動(dòng)，原因：

　　a.加熱器輸入功率不當(dāng)；

　　b.油脫氣；

　　c.擴(kuò)散泵進(jìn)口前面系統(tǒng)有滲漏。

　　4)工作腔污染大，原因：

　　a.前級(jí)壓力高；

　　b.在高于10-1Pa壓力下長(zhǎng)期工作；

　　c.系統(tǒng)操作有誤。

　　5) 返油率過(guò)大，原因：

　　a. 頂噴嘴帽松動(dòng)，間隙過(guò)大；

　　b. 加熱功率不對(duì)；