半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機(jī)械泵無(wú)法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動(dòng)，干式真空泵于上世紀(jì)80年代出現(xiàn)，受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進(jìn)步，干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加，性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)顯著改善。截至目前，發(fā)達(dá)國(guó)家的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵，我國(guó)近年來(lái)也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢(shì)，國(guó)內(nèi)的高端半導(dǎo)體行業(yè)已基本使用干式真空泵。

    除半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以外，制藥、化工、食品行業(yè)對(duì)真空泵的需求較大，以往使用油封式機(jī)械泵會(huì)產(chǎn)生油污染。近年來(lái)國(guó)家對(duì)環(huán)境保護(hù)高度重視，由于干式真空泵能夠顯著減少油污染，且使用干式真空泵可實(shí)現(xiàn)溶媒回收提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業(yè)對(duì)干式真空泵產(chǎn)生了大量新增以及替代原有存量油封式機(jī)械泵的需求。來(lái)源：普華有策