M 系列可用于對(duì)密封有z*嚴(yán)格要求且要求z*長(zhǎng)維修間隔的工藝。該系列的大部分與標(biāo)準(zhǔn)系列相同，但是，其特點(diǎn)是額外的嚴(yán)密密封的磁耦合代替了徑向軸密封環(huán)。這意味著，它在操作中基本無(wú)磨損。泵的整體泄漏率小于 1 · 10-6 Pa · m3 ·s-1。這排除了油泄漏的可能性，過(guò)程氣體和環(huán)境之間也不存在任何交換。

M 系列標(biāo)準(zhǔn)泵適合于Table 4.19 中顯示的所有應(yīng)用。此外，這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業(yè)/化學(xué)應(yīng)用以及超潔凈氣體應(yīng)用：例如，用于半導(dǎo)體行業(yè)中的 CVD 和PVD 工藝或排空預(yù)真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產(chǎn)。M 系統(tǒng)可提供的大小范圍從 250 m3 · h-1 到 6,000 m3 ·h-1。

表 4.19：OktaLine 性能數(shù)據(jù)