由于其低壓縮比，羅茨泵必須始終作為泵組合進(jìn)行操作，用于產(chǎn)生真空。它們可實(shí)現(xiàn)的z*終壓力將是所選前級(jí)泵極限壓力產(chǎn)生的結(jié)果。由于通過吸附的氣體輸送，在范圍低于 10-4hPa 下使用羅茨泵不再可行。具有各種前級(jí)泵的泵站的抽速和極限壓力表現(xiàn)如Figure 4.19 所示。該曲線清楚地表明，這種泵組合的抽速上升了 8 倍，其極限壓力相對(duì)于前級(jí)泵下降了 15 倍。