前級泵單級或兩極旋片泵或外部葉片泵用作油潤滑前級泵。螺桿泵或多級羅茨泵可用作干式前級泵。諸如此類的泵組合可用于在低、中真空范圍內(nèi)要求高抽速的所有應(yīng)用。液環(huán)泵也可額用作前級泵。

氣體循環(huán)冷卻羅茨泵為使羅茨真空泵在氣壓下工作，有些型號是氣冷的且沒有溢流閥（Figure 4.17）。在這種情況下，從出口法蘭 (6) 流經(jīng)冷卻器 (7) 的氣體被允許再次進入吸入室 (4) 的中間。這種人工產(chǎn)生的氣體流量使泵冷卻，使其能夠?qū)χ鴼鈮簤嚎s。通過羅茨活塞控制氣體的進入，因而無需任何額外的閥。即使在極限壓力下操作時，也沒有熱超載的可能性。
Figure 4.17 顯示了氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵的橫截面。氣體流動方向自上而下是垂直的，從而使液體或固體粒子夾帶在入口流中向下流動。在第一階段中，吸入室 (3) 通過活塞 (1)和 (2) 的旋轉(zhuǎn)打開。氣體通過入口法蘭 (5) 流入吸入室，壓力為 p1。在第二階段中，吸入室 (3) 朝著入口法蘭和壓力法蘭方向被封住。冷卻氣體的入口開口 (4) 通過第三階段的活塞旋轉(zhuǎn)而被打開。填充吸入室 (3) 達到出口壓力 p2，并且氣體被推向壓力法蘭。z*初，吸入體積并未隨著羅茨活塞的旋轉(zhuǎn)運動而發(fā)生改變。氣體通過流入的冷卻氣體進行壓縮。羅茨活塞現(xiàn)在繼續(xù)旋轉(zhuǎn)（第四階段），且該運動推動現(xiàn)在已經(jīng)壓縮的氣體經(jīng)過冷卻器 (7) 到排出側(cè)（第五階段），壓力為 p2。

氣冷羅茨泵可在 130 至 1,013 hPa 的入口壓力范圍內(nèi)使用。

由于吸入室內(nèi)沒有潤滑劑，它們不排出任何霧氣或污染被泵送的介質(zhì)。將兩個此類泵串聯(lián)連接可使極限壓力降低至 20 到30 hPa。當(dāng)與其他羅茨真空泵組合使用時，極限壓力可以降低至中真空范圍。