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多級羅茨泵—真空工藝設(shè)計/工作原理
標(biāo)簽: 羅茨泵
2015-05-26  閱讀

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在該中,兩個同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子 (1) 在單個殼體 (2) 中非接觸旋轉(zhuǎn)(Figure 4.11)。該轉(zhuǎn)子具有 8 字形結(jié)構(gòu),且相互之間由窄間隙分離開來。有四到六對轉(zhuǎn)子位于轉(zhuǎn)子軸上。每個轉(zhuǎn)子腔通過帶有噴氣口的定子盤與其他轉(zhuǎn)子分離開來。輸送的氣體從入口 (3) 被抽到出口。垂直泵送方向在流程泵中始終很重要。因此,排污口通道中各級之間的空間可用作粒子陷阱。這避免泵堵塞的z*佳方式。

多級羅茨泵—真空工藝設(shè)計/工作原理

由于吸入室中無摩擦,羅茨真空泵可在高達(dá) 6,000 rpm 的高轉(zhuǎn)速下操作。轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對稱分布還產(chǎn)生完美的動態(tài)平衡,這意味著,盡管其轉(zhuǎn)速很高,泵的運(yùn)行卻極為安靜。

為了避免化學(xué)物質(zhì)在泵和消聲器中冷凝,可通過調(diào)節(jié)冷卻水流量或通過具有加熱套的電加熱對這些進(jìn)行回火。如果出口消聲器分開配置,這需要一個額外的加熱套。將出口消聲器直接集成在泵體上不僅通過省掉一個額外的加熱器來降低能源成本,而且還使安裝更容易。