ACP 范圍內(nèi)的干式、風(fēng)冷式多級羅茨泵因其涉及和性能參數(shù)，通?？芍苯佑糜谔娲捎贸樗俜秶鷥?nèi)的油潤滑旋片式真空泵。
多級羅茨泵的優(yōu)勢包括：

■■ 在氣體置換區(qū)域沒有潤滑劑
■■ 被泵送帶有油或離子的介質(zhì)無任何污染
■■ 無工作液處理問題
■■ 具有長期穩(wěn)定性的恒定真空參數(shù)
■■ 因易損件的z*小數(shù)量而實現(xiàn)的高可靠性
■■ 在每個電源和主電源頻率、通用電源連接時，具有一相或
三相變頻器恒定工作參數(shù)
■■ 風(fēng)冷、無安裝費用和水冷操作成本
■■ 可針對高入口壓力連續(xù)操作
■■ 長維修間隔產(chǎn)生低運營成本
■■ 采用變頻器的遙控選擇
■■ 因可調(diào)節(jié) rpm、降低的噪音水平、能源利用和電源輸入而理想地適用于該應(yīng)用
■■ z*小泄漏率
■■ 渦輪分子泵和羅茨泵理想的前級泵
■■ 認證符合 UL/CSA 和 SEMI S2 要求

蒸汽

如果沒有額外的措施，由于其相對較低的工作溫度，使用無油泵則有泵內(nèi)發(fā)生冷凝的危險。與旋片式真空泵類似，多級羅茨泵裝有氣鎮(zhèn)閥，以增加泵的水蒸汽耐受性和水蒸氣的能力。泵內(nèi)形成冷凝物增加了極限壓力，導(dǎo)致腐蝕，且z*壞情況下，將導(dǎo)致泵故障。

在無氣鎮(zhèn)的情況下，ACP 泵可輸送水分含量高達 5% 的介質(zhì)。使用標(biāo)準(zhǔn)的泵氣鎮(zhèn)，水蒸汽耐受性為 10 hPa 且水蒸氣的能力為 100 g · h-1。在特殊泵版本（CV，可冷凝蒸汽）增加氣鎮(zhèn)吞吐量，可實現(xiàn)水蒸汽耐受性約為100 hPa，水蒸氣的能力為 700 至 1,000 g · h-1，這取決于環(huán)境溫度。

至于旋片式真空泵：在排空蒸汽前，泵體必須用氣鎮(zhèn)預(yù)熱至少半個小時。較高溫度的泵體減少冷凝。減少冷凝的其他方法包括獲得盡可能低的出口壓力及分別排出冷凝物。必須使用垂直排氣管道防止出口處的背壓。如有有萃取系統(tǒng)，應(yīng)將出口與其連接。

灰塵和粒子

如果沒有對大粒子物質(zhì)的進入進行控制，在z*壞情況下，ACP 系列多級羅茨泵可堵塞并徹底失效。為此，在含塵工藝或如玻璃制造中，在進氣側(cè)安裝過濾器以防止造成破壞。

腐蝕性氣體

ACP 系列泵不適合于抽空大量的腐蝕性氣體。在這方面多級羅茨泵可用于半導(dǎo)體、太陽能和涂料行業(yè)中的腐蝕性氣體工藝（見第 4.6 節(jié)）。然而，ACP 系列泵至少可用于處理少量的腐蝕性氣體。在這種情況下，使用具有惰性氣體凈化的版本，其中，采用惰性氣體幕保護軸承，且過程氣體通過在一個泵級中引入惰性氣體進行稀釋。

泄漏率其高氣密性能夠保證多級羅茨泵 的長期使用以及昂貴氣體的使用（4He、3He、同位素標(biāo)記氣體）氣體回路的z*佳解決方案。

輕型氣體和高真空

多級羅茨泵具有出口閥以防止?jié)駳夂脱鯕鈹U散回到吸入室，這在腐蝕性氣體應(yīng)用中會導(dǎo)致泵內(nèi)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。如果需要產(chǎn)生真空以防止輕型氣體聚集和回流擴散，在應(yīng)用中，必須定期將該閥打開（如通過氣鎮(zhèn)）。

即使排氣處的微真空或氣鎮(zhèn)的使用足以置換甚至連續(xù)的氦氣體吞吐量，如在蒸發(fā)器低溫恒溫器中，幾乎與氮或空氣具有相同的性能數(shù)據(jù)。

在載氣禁止使用的應(yīng)用中（如在閉合環(huán)路應(yīng)用中），泵出口處必須有真空。