烘烤為實(shí)現(xiàn)超高真空范圍 (<10-8 hPa) 內(nèi)的壓力，必須滿足以下條件：
■■ 真空泵的底壓應(yīng)該低于所需極限壓力的 10 倍。
■■ 真空室和部件所使用的材料必須針對(duì)z*小出氣量進(jìn)行優(yōu)化，并且具有適當(dāng)?shù)谋砻嫣幚淼燃?jí)。
■■ 應(yīng)該使用金屬密封件（例如，CF 法蘭連接或 ISO 法蘭標(biāo)準(zhǔn)的 Helicoflex 密封件）。
■■ 清潔工作是超高真空所必須，即：所有部件必須在安裝前徹底清潔并必須佩帶無油脂手套進(jìn)行安裝。
■■ 設(shè)備和高真空泵必須進(jìn)行烘烤。
■■ 在啟動(dòng)加熱器之前，必須避免并排除泄漏。為此，必須使用氦氣檢漏儀或四極桿質(zhì)譜儀。

烘烤顯著增加解吸率和擴(kuò)散率，而且這會(huì)導(dǎo)致抽吸時(shí)間大大縮短。作為制造工藝的z*后一個(gè)步驟，UHV 用途的腔室可在溫度高達(dá) 900 °C 時(shí)進(jìn)行退化。后續(xù)烘烤溫 可能達(dá)到300 °C。泵制造商有關(guān)高真空泵法蘭z*高烘烤溫度的說明通常將作業(yè)中的z*高溫度限制為 120 °C。如果在真空設(shè)備中使用熱源（例如，輻射加熱），則不得超過允許的輻射功率。

設(shè)備在安裝完畢后投入運(yùn)行。在達(dá)到 10-5 hPa 的壓力后，開啟加熱器。在加熱過程中，以 10 小時(shí)的間隔對(duì)真空計(jì)進(jìn)行操作并脫氣。如果使用具有適當(dāng)表面處理等級(jí)的不銹鋼容器和金屬密封件，120°C 的烘烤溫度和約 48 小時(shí)的加熱時(shí)間足以達(dá)到 10- 10 hPa 的壓力范圍。

烘烤應(yīng)該持續(xù)，直至達(dá)到預(yù)期極限壓力的 100 倍。然后關(guān)閉泵和真空室的加熱器。在冷卻后，很可能會(huì)實(shí)現(xiàn)所需的極限壓力。在壓力低于 5 · 10-10 hPa 且內(nèi)表面積較大時(shí)，將有利于使用氣體結(jié)合泵（鈦升華泵），該泵以高體積流量抽出從金屬中逸出的氫氣。