污染當(dāng)對(duì)真空室進(jìn)行抽空時(shí)，真空室必須干凈，以盡快達(dá)到所需壓力。真空系統(tǒng)典型的污染物包括

■■ 生產(chǎn)真空系統(tǒng)產(chǎn)生的殘?jiān)砻妗⒙萁z釘和密封件上的油脂
■■ 與應(yīng)用相關(guān)的污染物過(guò)程反應(yīng)產(chǎn)物、灰塵和顆粒
■■ 環(huán)境相關(guān)的污染物冷凝蒸汽，特別是吸附在容器壁上的水分。

因此，在安裝真空設(shè)備時(shí)有必要確保部件盡可能干凈。真空室中安裝的所有部件必須干凈、無(wú)油脂。安裝的所有密封件必須干燥。如果無(wú)法避免使用真空潤(rùn)滑脂，且根本是輔助安裝而不是作為密封膠，必須非常謹(jǐn)慎地使用。如果將要產(chǎn)生高真空或超高真空，在裝配過(guò)程中必須佩帶干凈、不掉毛、無(wú)粉手套。