此種檢漏方法適用于對出氣和漏氣量都不大的小型器件進(jìn)行檢漏，其特點是靈敏度高（當(dāng)正確使用這種方法時可以使檢漏靈敏度高出儀器靈敏度幾個數(shù)量級）。具體檢漏系統(tǒng)可參考圖13-44。
 

累積法的檢漏過程是：將儀器正常運轉(zhuǎn)并將被檢件抽成真空，關(guān)閥門S2使被檢件及檢漏儀與輔助系統(tǒng)隔離，打開檢漏儀的節(jié)流閥，在被檢件外面加上氦罩，關(guān)上檢漏儀本身的高真空閥門（即Sc=0），就是說將檢漏儀的質(zhì)譜室與被檢件均停止抽氣，此時如果被檢件有一個漏率為q的漏孔，在△t時間后，輸出儀表指示會變化到（假定漏孔是分子流漏孔）如式13-93，z*小可檢漏率如式13-94。

式中  ∑Vi——被檢件及系鯇有關(guān)部分的體積之積；

Qmin——檢漏儀的z*小可檢漏率；

Sco——與Qmin相對應(yīng)的離子源處的抽速。

可見△t越長，∑Vi越小，檢漏靈敏度就越高。

但是，并不是隨著△t的增加檢漏靈敏度可無限提高，因為停止抽氣之后，由于出氣與漏氣等原因，質(zhì)譜室的壓力是會升高的，當(dāng)超過工作壓力時，會使檢漏無法進(jìn)行。此外，在累積過程中儀器的本底與本底噪聲也可能變大。