吸入法檢測(cè)的是大氣中氦濃度的變化，令在大氣中氦質(zhì)譜檢漏儀指示的本底及本底噪聲為I1和△I，對(duì)應(yīng)于氦濃度變化△γ時(shí)，信號(hào)為I2，則z*小可檢氦濃度γmin=（△I·△γ）/（I2-I1）。其中I2-Il為信號(hào)，△I為噪聲，認(rèn)為信噪比為1時(shí)為z*小可檢。

①一定濃度氦氣的配置。配置一定濃度△γ（認(rèn)為△γ遠(yuǎn)大于大氣中的氦濃度）的氣體，有兩種方法：

a．流量法  z*簡(jiǎn)單的裝置是在一個(gè)體積為V的容器上面裝一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔并充以氦氣，容器內(nèi)為大氣壓pA下的空氣，相應(yīng)的漏氣率（對(duì)氦）為g，ts時(shí)間后，在V內(nèi)建立的氦濃度

其中，假定△γ遠(yuǎn)大于大氣中的氦濃度，以及pAV＞＞qts。

b．注氣法  這是一個(gè)在真空校準(zhǔn)中常用的方法，很簡(jiǎn)單，往容器V(容器內(nèi)為大氣壓pA的空氣)中注人體積為鉚壓力為戶的氦氣，若pAV》pV，建立的氦濃度

其中，假定△γ遠(yuǎn)大于空氣中的氦濃度。

②吸入法檢漏的濃庋靈敏度校準(zhǔn)。將吸槍的吸嘴插入到上面講的具有一定濃度氦氣的容器V中，由式(13-87)和式(13-88)或式(13-89)，可知濃度靈敏度（即z*小可檢氦濃度）為

其中，I2-I1為信號(hào)，△I為噪聲，認(rèn)為信噪比為1時(shí)z*小可檢。