氦質(zhì)譜檢漏儀的一個新發(fā)展是返流檢漏儀的出現(xiàn)，如圖13-33所示。此儀器的優(yōu)點是，由于它的質(zhì)譜室是處在高真空一側(cè)，被檢件則接在前級位置，因此能在較低真空度下對被檢件進(jìn)行檢漏，且減少丁被檢件中的污物對質(zhì)譜室的污染。這種儀器是根據(jù)油擴散泵各級噴嘴的壓力比是與氣體質(zhì)量有關(guān)的原理制成的。

擴散泵每級噴口的壓力比(即壓縮比)可以表示為：

由上式可以看出，氣體質(zhì)量越小，壓力比也越小。多級擴散泵的壓力比可達(dá)到：對氦為102，對空氣中的其它氣體成分為10^4～10^6。當(dāng)質(zhì)譜計管接在泵的人口處，被檢件接在泵的前級管道時，氦氣通過漏孔進(jìn)入前級管道后，仍有部分氦氣返流到質(zhì)譜計管中去，并給出漏氣信號。此種檢漏儀的靈敏度估計可達(dá)到10^-5 Pa.L/s～10^-8Pa·L/s。