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質譜計比較法具體裝置如圖13-12所示。假定用一個帶氦室的已知漏率為Q1的漏孔L1來校準帶氦室的薄膜漏孔L2,校準過程如下:將氦質譜檢漏儀調(diào)到氦峰上,關閥門Sl和S2,記下輸出儀表讀數(shù)No;打開閥門S1,記下輸出儀表讀數(shù)N1;關閥門S1,打開閥門S2,記下輸出儀表讀數(shù)N2。則L2的漏率Q2為
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