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四極質(zhì)譜計(jì):積分譜及總壓力測(cè)量
2014-11-04  閱讀

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四極質(zhì)譜計(jì)的積分譜特性可以用于系統(tǒng)的總壓力測(cè)量。從圖12 -55的穩(wěn)定圖可看出,當(dāng)加在桿系上的直流電壓為零時(shí),質(zhì)量掃描線和q軸重合。當(dāng)加在桿電極上的電壓很小,保證M=1離子的q值小于0.9時(shí),則全部質(zhì)量離子的n、q值均處在穩(wěn)定區(qū)內(nèi),并通過分析場(chǎng)被收集。收集的離子流可視為全電流,它可作為總壓力測(cè)量的信號(hào)。但由于四極質(zhì)譜計(jì)的入口條件的限制,利用積分譜進(jìn)行總壓力測(cè)量的精度要比采用總壓規(guī)測(cè)量差。

四極質(zhì)譜計(jì):積分譜及總壓力測(cè)量