真空分析質(zhì)譜計(jì)的一般要求為：

①儀器探頭尺寸小、質(zhì)量輕、易于安裝；

②對(duì)于磁偏轉(zhuǎn)型儀器和擺線型儀器來(lái)說(shuō)，儀器的雜散磁場(chǎng)必須很?。?/p>

③儀器探頭應(yīng)具有互換性，成本低，允許一機(jī)可配用數(shù)個(gè)探頭；

④探頭能經(jīng)受400℃烘烤，離子源能用電子轟擊除氣，以減小“記憶效應(yīng)”：

⑤儀器的質(zhì)量標(biāo)度z*好為線性標(biāo)度，工作質(zhì)量范圍的調(diào)節(jié)要方便；

⑥儀器應(yīng)易于操作，離子源的工作參數(shù)應(yīng)盡量固定；

⑦具有較高的掃描速度，至少能將一部分質(zhì)譜顯示在示波器上。

對(duì)于分壓計(jì)來(lái)說(shuō)，還應(yīng)要求：

①質(zhì)譜的峰強(qiáng)和質(zhì)譜的圖形系數(shù)對(duì)應(yīng)真空系統(tǒng)中的氣體量之間應(yīng)具有一定的定量關(guān)系；

②探頭連接管的流導(dǎo)要大，減小壓力差和質(zhì)量歧視，z*理想的是能作成裸規(guī)形式的探頭；

③要求磁偏轉(zhuǎn)型和擺線型質(zhì)譜計(jì)，在重新安裝磁鐵后，對(duì)儀器性能不需再作校準(zhǔn)；

④采用低工作溫度的陰極和低發(fā)射電子流，以減小對(duì)分子的熱分解、電清除及化學(xué)清除效應(yīng)；

⑤采用標(biāo)準(zhǔn)的電子轟擊能量，從而盡可能使用標(biāo)準(zhǔn)的碎片圖形（離子譜）；

⑥良好的峰形、一致的峰寬，便于計(jì)算機(jī)處理數(shù)據(jù)。

為特定目昀而選擇儀器時(shí)，應(yīng)s*先從所需要的質(zhì)量范圍來(lái)確定所要求的z*小可檢分壓力，再考慮在此靈敏度下儀器的分辨本領(lǐng)和掃描速度等。