真空規(guī)的測量值意味著什么?是全壓還是其它?這是必須要搞清楚的。

彈性變形規(guī)和U形壓力計是直接測出氣體全壓的，與氣體種類無關。因此它的測量值是明確的。壓縮規(guī)只能測出理想氣體的分壓，而與理想氣體的種類無關，它不能測出可凝蒸氣的分壓?？伺?guī)只有在假定熱適應系數a=l時，其指標值與氣體成分無關，才能夠測出全壓。其它一些常用規(guī)型，不能直接測量全壓，而是測量與氣體壓力有關的某個物理量(如熱傳導、粘滯性、分子密度等)，所以指示值與氣體種類有關，需要對各種氣體分別進行校準。實際系統(tǒng)中的氣體氛圍是各種氣體和蒸氣的混合，往往不清楚其組成，所以用這些真空規(guī)測量時，不能真實地表示出來被測氣體的全壓。這時只能用“等效氮壓”來表示。在用電離計進行測量時，如果系統(tǒng)中的主要組分是油蒸氣，那么所表示的“等效氮壓”會比實際壓力大10倍左右，如系統(tǒng)中主要是氦氣，那么將比實際壓力小5倍左右。在用電離計測水銀擴散泵和油擴散泵的極限壓力時，如兩者讀數一樣，反而說明兩泵真正的極限壓力并不相同，因為丙系統(tǒng)中的殘余氣體成分是不同的。

管規(guī)的指示值是與規(guī)殼中的壓力有關，但是測量的目的應是，指示出連接導管開口處系統(tǒng)中的壓力，所以校準時規(guī)的輸出值需對應于導管口的壓力，并且要求校準條件(溫度、氣體、連接管長短等)與實際使用時相同，否則需進行修正。由于實際條件往往難以控制和不能精確知道，致使修正十分困難，從而使得測量值不夠明確。

因此，真空規(guī)測量值能否表征被測系統(tǒng)中的全壓(即真空度)，必須進行正確的判斷和評價，才能獲得明確的結果。對測量值的評價可歸納為下列幾點：

①測定值與真空規(guī)的安裝位置有關;

②應對管規(guī)導管開口處壓力進行校準;

③在不知道氣體組分時，如用“等效氮壓”來表征，將使測量值不夠明確。

在某些情況下，用氣體分子密度、分子入射率、方向性壓力等來表征真空度，可能比用氣體全壓的概念更明確。但是在采用新的表征真空度的物理量的同時，要求選擇合適的規(guī)型和研究新的測量方法和技術。