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真空測(cè)量技術(shù)的概述
標(biāo)簽: 真空測(cè)量
2014-10-08  閱讀

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  在真空測(cè)量實(shí)踐中,要用真空規(guī)比較精確地去測(cè)量被研究的稀薄氣體壓力,以達(dá)到預(yù)期的目的,必須考慮下列三個(gè)問(wèn)題:
  
 ?、賡*先要對(duì)被研究的對(duì)象有一般性的了解:
  
  a.是非可凝的氣體還是可凝的蒸氣?是單一氣體還是混合氣體?是惰性氣體還是活潑性氣體或腐蝕性氣體?
  
  b.氣流狀態(tài)是穩(wěn)態(tài)還是瞬態(tài)?是均勻氣流還是非均勻氣流?
  
  c.所處的溫度是等溫還是不等溫?是高溫還是低溫?
  
  d.有無(wú)磁場(chǎng)、電場(chǎng)、振動(dòng)、沖擊、加速度、帶電粒子、輻射等特殊條件?
  
 ?、诟鶕?jù)研究對(duì)象的情況和研究的目的,正確選用真空規(guī),并需對(duì)所選用的真空規(guī)有較深入的了解,即了解其原理、量程、特殊和局限性,以便正確地使用它。
  
 ?、垡芯空婵找?guī)與被測(cè)對(duì)象之間的相互作用。規(guī)的引入可能會(huì)使被測(cè)對(duì)象的原來(lái)狀態(tài)發(fā)生畸變,同時(shí)被測(cè)對(duì)象也可能改變規(guī)的性能、干擾規(guī)的正常工作。
  
  由此可知,要比較精確地進(jìn)行真空測(cè)量,僅僅孤立地去研究真空規(guī)還是很不夠的,必須全面地研究與上述三個(gè)方面問(wèn)題有關(guān)的測(cè)量技術(shù)。
  
  由于影響真空測(cè)量的因素較多,而且難以控制,所以測(cè)量精度是不高的。如果再不能很好地解決上述三個(gè)方面的問(wèn)題,那么將會(huì)引起更大的誤差,甚至發(fā)生明顯的錯(cuò)誤。

真空測(cè)量技術(shù)的概述
  
  從真空應(yīng)用角度看,多數(shù)情況并不需要過(guò)于高的精確度,只有在少數(shù)情況下(例如空間研究中),才要求高的測(cè)量精度(誤差≤1%)。這樣的高精度對(duì)粗低真空范圍的真空測(cè)量來(lái)說(shuō)是可以滿足的,但在更寬的量程內(nèi)還不能達(dá)到。