①數(shù)字程序控制。這是z*簡單的一種計算機(jī)控制，可以按照預(yù)定的時間順序或邏輯順序?qū)?a href="http://celebrationhalls.com" target="_blank" class="keylink">真空裝置或真空工藝進(jìn)行控制。

②直接數(shù)字控制DDC( Direct Digital Control)。在這種控制方式中，計算機(jī)取代模擬調(diào)節(jié)器(如壓力控制儀)，根據(jù)給定值和輸出量，直接對被控真空工藝過程進(jìn)行數(shù)字控制。其控制規(guī)律不是由PID電路實現(xiàn)，而是由數(shù)字PID去完成。由于控制規(guī)律是由數(shù)字計算完成，故利用計算機(jī)快速運(yùn)算的功能，可完成更復(fù)雜的運(yùn)算，從而可實現(xiàn)z*優(yōu)控制、自適應(yīng)控制等。

③計算機(jī)監(jiān)督控制SCC(Supervisory Computer Control)。在多級計算機(jī)控制系統(tǒng)中，第一級是DDC作用于被控真空工藝過程，其給定值由上一級計算機(jī)提供，則上一級計算機(jī)便為監(jiān)督控制級。若第一級不是DDC而是常規(guī)的模擬控制系統(tǒng)(如壓力控制儀控制系統(tǒng))，第二級也稱為監(jiān)督控制級。

④分布控制。一個大型真空裝置由許多分散又獨立的子系統(tǒng)構(gòu)成，若用一臺計算機(jī)對真空裝置進(jìn)行集中的監(jiān)督和控制，必然降低了控制系統(tǒng)的可靠性，通常是每個子系統(tǒng)配用一臺微型計算機(jī)，進(jìn)行分散控制，只有少量的必要信息被送到上位機(jī)(即上一級計算機(jī))，從而提高了控制系統(tǒng)的可靠性。