在真空裝置控制中，表征程序控制系統(tǒng)的性能指標是其實現(xiàn)控制的速度、準確性和可靠性;而對于如真空度(壓力)自動調節(jié)等自動控制系統(tǒng)，其具體的要求是：

(1)系統(tǒng)的穩(wěn)定性

當系統(tǒng)給定值(或擾動)發(fā)生變化時，被控制量將會偏離原值，由于反饋環(huán)節(jié)的作用，通過系統(tǒng)內部控制裝置的自動調節(jié)，系統(tǒng)可能回到(或接近)原來的穩(wěn)定值或跟隨給定值穩(wěn)定下來。

但是，也可能由于系統(tǒng)內部的相互作用，使系統(tǒng)出現(xiàn)不穩(wěn)定狀態(tài)。顯然，不穩(wěn)定的系統(tǒng)無法工作。因此，對任何自動控制系統(tǒng)的要求，s*要的是系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

(2)系統(tǒng)的動態(tài)特性

由于系統(tǒng)的控制裝置的某些元、部件和被控制對象通常具有一定的慣性(如機械慣性、電磁慣性、熱慣性等)，并且電源功率、氣源流導、真空泵的抽氣速率等為有限值，故系統(tǒng)中的各種量值(如壓力、真空度、溫度、電流籌)的變化不可能是突變的，因此，系統(tǒng)從一個穩(wěn)態(tài)過渡到新的穩(wěn)態(tài)都需經(jīng)歷一個過渡過程。表征系統(tǒng)過程性能的參數(shù)叫做系統(tǒng)的動態(tài)性能指標。為了使這類控制系統(tǒng)在不同條件下其動態(tài)特性具有可比性，人們通常是在某一時刻系統(tǒng)加一個單位階躍的給定值，然后，根據(jù)系統(tǒng)的過渡過程曲線(圖10-217)的參數(shù)，來表征系統(tǒng)的動態(tài)特性。

①衰減比：即兩個相鄰的波同方向幅值之比，如B1/B2等。衰減比是衡量系統(tǒng)穩(wěn)定性的指標，通常以4：1～10：1為宜。

②z*大偏差：即過渡過程曲線的z*大峰值與給定值1的差，即Bi。它表示被控制量偏離給定值的z*大差值。

③穩(wěn)態(tài)偏差：即e(∞），是單位階躍給定值作用后，系統(tǒng)過渡到穩(wěn)態(tài)時的余差。它是表征自動控制系統(tǒng)控制的精度的指標。

④調整時間：即Ts也稱回復時間，是系統(tǒng)受到單位階躍給定值信號作用時，從過渡狀態(tài)恢復到允許的偏差所需要的z*短時間。它是表征自動控制系統(tǒng)控制速度的指標。

⑤振蕩次數(shù)：在調整時間內被控制量振蕩的次數(shù)，其數(shù)值越小，則表征系統(tǒng)的動態(tài)性能越好。