實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)由冷凝泵、測試罩、前級抽氣系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、減壓系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和四極質(zhì)譜計(jì)分析系統(tǒng)以及真空度測試系統(tǒng)等部分組成，圖16-27給出了該實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的示意圖。 　　
　?、贉y試罩。本體由不銹鋼制成，它與冷凝泵直接  13相連（通過螺栓）。其上裝有調(diào)制BA規(guī)和彎注規(guī)，用以一測量真空度。在測試罩的側(cè)面還裝有供充氣用的連接法蘭以允許各種試驗(yàn)氣體進(jìn)入冷凝泵。需要指出的是盡管測試罩內(nèi)壁作了拋光處理，但它在室溫下的放氣z*終將成為泵的很大一部分附加氣源，將影響冷凝泵z*佳真空度。
　　
　　②前級抽氣系統(tǒng)。由濺射離子泵、分子篩吸附泵、機(jī)械泵和一些超高真空閥門等構(gòu)成。分子篩吸附泵或機(jī)械泵為濺射離子泵提供必要的啟動壓力，并作為冷凝泵初始烘烤階段的排氣泵。啟動濺射離子泵后，系統(tǒng)真空度可達(dá)10-7Pa。
　　
　?、酆婵鞠到y(tǒng)。由可拆式烘箱（內(nèi)部裝有管狀加熱器）和纏繞式加熱帶組成。溫度測量采用鎳鉻一鎳鋁熱電偶。烘烤溫度一殷控制在300℃左右。
　　
　?、芾鋮s系統(tǒng)。由液氮杜瓦車、輸液管道、氮?dú)夥€(wěn)壓裝置等部分組成，用以供給補(bǔ)充冷凝泵液氮容器內(nèi)的液氮。此外，液氦冷凝器預(yù)冷時亦是用該冷卻系統(tǒng)供給液氮的。 　　
　?、轀p壓系統(tǒng)。是通過適當(dāng)抽空低溫介質(zhì)（液氮或液氦）所在空間的氣體而達(dá)到進(jìn)一步降低介質(zhì)溫度目的的裝置。它由機(jī)械泵、排氣管道、節(jié)流閥及真空壓力表等部分構(gòu)成。節(jié)流閥能調(diào)節(jié)機(jī)械泵抽速的大小，從而控制貯液槽上方介質(zhì)蒸氣的壓力。經(jīng)驗(yàn)表明，節(jié)流閥初期，開啟程度對液氦減壓能否順利進(jìn)行具有至關(guān)重要的作用。貯液槽上方介質(zhì)的蒸氣壓力是用精密真空表測量的。根據(jù)測得的這一壓力可確定介質(zhì)經(jīng)減壓后的z*終溫度。圖16-28和圖16-29分別給出了氦和氮蒸氣壓與溫度關(guān)系的曲線。 　　
　　該系統(tǒng)的抽氣機(jī)組由機(jī)械泵、五氧化二磷干燥瓶及兩級串聯(lián)的擴(kuò)散泵等組成。系統(tǒng)真空度一般可達(dá)10-4Pa。為了精確地確定進(jìn)氣量的大小，使用兩只經(jīng)嚴(yán)格校準(zhǔn)（原位進(jìn)行）的不同流導(dǎo)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。為了保證充入氣體的質(zhì)量，除使用高純度氣體外，在每次進(jìn)氣前還用該系統(tǒng)抽氣機(jī)組反復(fù)將充氣系統(tǒng)抽至高真空進(jìn)行氣體置換。
　　
　　四極質(zhì)譜計(jì)分析系統(tǒng)由四極桿探頭和QMGl01型四極質(zhì)譜計(jì)等部分組成，該儀器z*小可檢分壓力為10 -11Pa。該系統(tǒng)用于整個實(shí)驗(yàn)過程中的殘余氣體分析及微小漏孔的檢測。
　　
　　真空度測試系統(tǒng)包括測量規(guī)管和測試線路兩大部分。測試規(guī)管采用Balzers制造的IMR103型調(diào)制BA規(guī)和蘭州物理研究所研制的彎注規(guī)（敷氧化釷鎢燈絲）o所用測試線路分別為IMG040型數(shù)字顯示的自動控制電離計(jì)和日本制造的TR84型振簧式靜電計(jì)。上述規(guī)管和線路都經(jīng)真空一級計(jì)量站校驗(yàn)過。