鈦鉬和鈦鋯絲蒸發(fā)參數測量結果的應用
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2014-08-15 閱讀
應用鈦鉬和鈦鋯絲蒸發(fā)參數的測量結果，可預測任意直徑d長度L的鈦鉬、鈦錯絲的工作參數。如以鈦鉬絲為例，s*先由圖16-39根據合適的比蒸發(fā)率確定蒸發(fā)溫度，然后由下式分別計算所需加熱電流、電壓值
?、谖饺萘渴窃跓艚z徹底去氣后關擴散泵閥，然后恒電壓蒸發(fā)5min(膜厚28nm左右)，恒流充入被測氣體，記錄測量罩中的壓力隨時間的變化，由抽氣曲線（圖16-45）計算吸附容量（表16-15）。實驗時起始壓力1Pa～6.6×10^5Pa(液氮冷卻)，水冷時為1Pa～6.6×10^4Pa。
ƒ粘著系數是在擴散泵隔離打開和關閉，燈絲連續(xù)蒸發(fā)和間斷蒸發(fā)等四種情況下，分別測定膜面為12℃和78K下對N2和H2的粘著系數。在鈦絲充分去氣并扣除開閥時擴散泵抽速后，四種情況下起始粘著系數相差不大。故取其平均值與國外的數據相近。測量中出現氮氣、氫氣的抽速比泵口的流導還大，這可能是束流效應的影響。
