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真空實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的構(gòu)成

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2014-08-07 閱讀

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實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)由冷凝泵、測(cè)試罩、前級(jí)抽氣系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、減壓系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和四極質(zhì)譜計(jì)分析系統(tǒng)以及真空度測(cè)試系統(tǒng)等部分組成，圖16-27給出了該實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的示意圖。