利用機械泵、擴散泵、障板和液氮阱組成的典型的油擴散泵系統(tǒng)，借助四極質(zhì)譜計，分析在不同運轉(zhuǎn)條件下系統(tǒng)的剩余氣體，估算障板、阱降低泵液返流的效果和烘烤對去除泵液污染的作用，同時研究了真空浸泡、充氮保護這一簡單有效的降低放氣和污染的運轉(zhuǎn)方法，從而，加深了對污染成分、來源和降低污染方法的認識，有助于了解和控制系統(tǒng)的剩余氣體。