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油擴散泵系統(tǒng)獲得極高真空的質(zhì)譜分析

2014-07-30 閱讀

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蘭州物理研究所在深入研究擴散泵與機械泵返流機制的基礎(chǔ)上，為降低泵液返流做了大量工作。例如，擴散泵采用“擋油帽一障板一阱”的常規(guī)方法，已使泵本身的極限壓力由10-5Pa提高到10-8Pa，返流率由油擴散泵系統(tǒng)獲得極高真空的質(zhì)譜分析降低到。高效率的液氮冷凍鈦升華阱的使用，進一步降低了泵液返流，獲得了≤6×10-11Pa的超清潔極高真空環(huán)境。