擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)在于對(duì)惰性氣體有較好的抽氣作用。有人測(cè)定擴(kuò)散泵在非常低的壓力下(至少到10-13Pa)，對(duì)氦的抽速仍保持不變，擴(kuò)散泵對(duì)付惰性氣體是有效的。因此，盡管擴(kuò)散泵是有油的泵，仍有許多極高真空系統(tǒng)用它作為主泵。從文獻(xiàn)報(bào)導(dǎo)來(lái)看，10-12Pa以下的系統(tǒng)幾乎都采用了擴(kuò)散泵。但是擴(kuò)散泵返流引起的油的污染限制了它的應(yīng)用。影響擴(kuò)散泵系統(tǒng)極限壓力的另一個(gè)因素是氫的壓縮比。圖16-14給出了擴(kuò)散泵的入口壓力和出口壓力的關(guān)系曲線。如果泵液采用無(wú)油液體，使用擴(kuò)散泵是獲得極高真空的很理想的抽氣手段之一。