在使用擴(kuò)散泵的真空系統(tǒng)中，還有一個反擴(kuò)散的問題。在擴(kuò)散泵中氣流不僅發(fā)生在抽氣方向上，而且有少量的氣體分子沿蒸氣流的反方向流動，發(fā)生由低真空端向高真空端的擴(kuò)散，這種現(xiàn)象叫做反擴(kuò)散。反擴(kuò)散的程度與擴(kuò)散泵的壓縮比有關(guān)，壓縮比越大，反擴(kuò)散越小，而壓縮比又與氣體質(zhì)量有關(guān)。輕的氣體，壓縮比要比重的氣體小得多。對四級擴(kuò)散泵約為對高真空系統(tǒng)來說，反擴(kuò)散的影響并不重要，但對超高真空系統(tǒng)就必須考慮反擴(kuò)散對極限真空的限制。如果采用擴(kuò)散泵獲得極高真空，就要將兩個擴(kuò)散泵串聯(lián)起來，這樣前級擴(kuò)散泵降低了主擴(kuò)散泵的出口壓力，因而降低了主泵的反擴(kuò)散。實(shí)驗(yàn)證明，用這種方法可以改善極限真空。