金屬材料中不溶解稀有氣體，如氦、氖等，這對獲得極高真空是有利的。雙原子分子是在解離成原子后才溶解的，n=1/2即單位時(shí)間單位面積滲透的氣體量和壓差的平方根成比例。
　　
　　滲透率K的量鋼為用表示，滲透量Q的量鋼為用表示。金屬材料中氣體的擴(kuò)散系數(shù)、滲透率如圖16-6及圖16-13所示。不銹鋼中氫的擴(kuò)散系數(shù)和滲透率由表16-3給出。這些數(shù)字說明，由不銹鋼中放出的氣體中，主要成分是氫。特別是經(jīng)很好地去氣以后，99%的殘余氣體為氫。因此，氫的滲透是獲得極高真空的困難之一。表16-4和表16-5給出了大氣中的氫通過不銹鋼滲透及不銹鋼放氣速率的一些數(shù)據(jù)。實(shí)用上認(rèn)為，氫的放氣速率下限為為了減小氫的放出，把鎢帶加熱到1220K以上，觀察到了其中溶解的氫以原子態(tài)放出。這個(gè)現(xiàn)象可以認(rèn)為是在極高真空中用質(zhì)譜計(jì)經(jīng)常測到的大量的發(fā)生的原因。