低真空電子束焊接機(jī)具有真空系統(tǒng)簡單，設(shè)備成本低，使用方便，更換被焊零件后抽氣時(shí)間短，對被焊零件清洗要求低等優(yōu)點(diǎn)。
　　
　　低真空型電子束焊接機(jī)的真空系統(tǒng)必須滿足如下幾個(gè)要求：
　　
　?、贅屖液秃附邮抑g的壓差要足夠的大，以保證槍室的工作壓強(qiáng)不高于6.6×10 -2Pa，而且要保證電子槍的陰陽極區(qū)域的氣壓盡可能穩(wěn)定。
　　
　?、诤附邮业墓ぷ鲏毫μ幱诘驼婵諣顟B(tài)，但要保證：電子束在工件上的穿透能力接近高真空條件下的穿透能力；在低真空狀態(tài)下的焊接氣氛要保障達(dá)到優(yōu)良的焊縫冶金質(zhì)量。
　　
　?、垭娮蛹碓诘驼婵諈^(qū)飛行的距離盡可能短，以減少電子束的散射損失。
　　
　　由于在氣體中飛行的電子同氣體分子和其它粒子間會(huì)發(fā)生相互作用，又由于核電場的作用，會(huì)造成部分電子偏離原來的路線，這一類的離散叫彈性散射。電子的彈性散射又同氣體分子的種類、氣體密度、電子能量（或加速電壓）以及電子飛行的路程有關(guān)。國外在這方面作了不少研究工作。大量實(shí)踐都證明了加速電壓為60kV時(shí)，電子束飛行距離為500mm左右。當(dāng)焊接室壓力為3Pa—4Pa時(shí)，電子束在工件上的穿透能力基本上同高真空條件下一樣。當(dāng)焊接室壓力升高到6.6Pa時(shí)，仍能得到非常滿意的穿透性能。
　　
　　當(dāng)焊接室壓力為4Pa時(shí)，如果把所有殘余氣體分子都作為雜質(zhì)來看待，則氣體的當(dāng)量純度達(dá)到40×10-6，這比起商品供應(yīng)的z*純氬氣（純度約為50×10-6）還要好一些。從真空冶金角度來看，焊接室壓力為4Pa—6.6Pa時(shí)，對于絕大多數(shù)金屬材料來說，去除焊縫中的雜質(zhì)，提高焊縫的冶金質(zhì)量可以達(dá)到相當(dāng)滿意的結(jié)果。
　　
　　HDZ - 6A型中壓低真空型電子束焊接機(jī)的真空系統(tǒng)如圖10-133所示。