VFC - 524 - R(S)真空爐是美國伊普森公司的產(chǎn)品，簡介紹下。
　　
　　(1)技術(shù)性能
　　
　　額定功率：207kW;
　　
　　額定電壓：380V(三相、50Hz)，58V(三相、50Hz)；
　　
　　允許使用的溫度范圍：500℃—1315℃；
　　
　　溫度穩(wěn)定性：±5℃；
　　
　　加熱方式：電；
　　
　　極限真空度：4.6×10-4Pa;
　　
　　工作真空度：1×10-3Pa;
　　
　　泄漏率：1×10-1Pa· L/min;
　　
　　有效均溫區(qū)：長×寬×高= 910mm×610mm×610mm;
　　
　　z*大裝載量：270kg;
　　
　　爐內(nèi)壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)范圍：6.6Pa—1×10-1Pa：
　　
　　允許使用的冷卻氣體：高純氬氣和氧氣；
　　
　　冷卻水消耗量：正常2. 5m3/h，快速8m3 /h；
　　
　　每爐冷卻氣體消耗量：6m3；
　　
　　每爐壓縮空氣消耗量：0.2m3；
　　
　　冷卻方式：真空冷卻、氣體冷卻、氣體風(fēng)扇快速冷卻；
　　
　　抽氣速率：機(jī)械泵141.6L/s，擴(kuò)散泵118L/s;
　　
　　升溫速率：在100℃—1200℃／h內(nèi)分四段式無級(jí)調(diào)節(jié)。
　　
　　(2)結(jié)構(gòu)形式
　　
　　伊普森VFC- 524 - R(S)型真空爐是一種臥式單室（加熱冷卻在同室進(jìn)行）冷壁爐、其結(jié)構(gòu)主要由爐體、加熱室、抽氣系統(tǒng)、電氣控制部分、附件五大部分組成。
　　
　?、贍t體：如圖10-124所示，爐體是一個(gè)具有水套結(jié)構(gòu)的雙壁鋼質(zhì)圓筒。前門與爐體用0型橡膠圈密封。水套結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁和外壁分別用不銹鋼和碳素鋼制成。爐體右側(cè)壁有三個(gè)法蘭，用以安裝工作熱電偶校準(zhǔn)熱電偶及電離規(guī)。爐體左側(cè)壁上也有三個(gè)法蘭，一個(gè)用以安裝超溫控制熱電偶，其余兩個(gè)用盲板封住，作為檢測時(shí)用。在真空室的頂部裝有一個(gè)18.4kW真空密封的風(fēng)扇電機(jī)，真空室底部有一個(gè)用來充中性冷卻氣體和調(diào)節(jié)爐內(nèi)壓力的氣孔。在真空室的后部右側(cè)壁上有一個(gè)與機(jī)械泵相接的排氣口，在真空室前部右側(cè)有與高真空閥連接的排氣孔。在后部有控制加熱室上塞蓋作橫向運(yùn)動(dòng)的氣缸、安全報(bào)警喇叭和排水管、匯水槽。在底部有控制加熱室下塞蓋作縱向運(yùn)動(dòng)的氣缸。在爐體左側(cè)壁上有三根電流匯流排，引入加熱室。
　　
　　②加熱室：加熱室是由5mm厚的不銹鋼板作殼體，用50mm厚的氧化鋁纖維襯里，并用鉬片和鉬鉤固定。如圖10-124所示，12根40mm的石墨棒在加熱室頂部均勻分布。爐床由高強(qiáng)度石墨構(gòu)件組成。加熱室有前門和上下蓋，在加熱室外部與冷壁之間有四個(gè)銅質(zhì)熱交換器，在加熱室外壁有6根銅質(zhì)冷卻水管。加熱室整體是利用兩個(gè)導(dǎo)輪懸掛在真空室內(nèi)。

　　③抽氣系統(tǒng)：如圖10-125所示。抽氣系統(tǒng)包括：一臺(tái)7.5kW抽速為141L/s的STOKES412H型單級(jí)旋片式機(jī)械泵，加熱電爐功率為12.25kW EDWARDS HS 20型三級(jí)分餾式油擴(kuò)散泵，一個(gè)油塵分離器，一個(gè)冷阱和高真空閥。在高真空閥頂部有控制高真空閥開關(guān)的氣缸、壓力表、手調(diào)中性氣體進(jìn)氣壓力開關(guān)、手動(dòng)空氣釋放閥、兩個(gè)熱電偶真空計(jì)測量頭，一個(gè)氣體壓力計(jì)。
　　
　　
　?、茈姎饪刂撇糠郑弘姎饪刂撇糠种饕呻娫春涂刂乒窠M成。電源是一個(gè)磁飽和電抗器和控制變壓器。在一個(gè)三開門式控制柜內(nèi)主要包括：長圖溫度記錄儀、真空計(jì)+長圖真空記錄儀、超溫溫度調(diào)節(jié)器、程序控制器、加熱電流控制器、擴(kuò)散泵油溫控制器、3個(gè)單相加熱電流表、差值放大器、功率放大器、冷卻速率控制系統(tǒng)、時(shí)間繼電器、電磁閥、操縱按鈕、轉(zhuǎn)換開關(guān)、各種指示燈、限位開關(guān)、聯(lián)鎖裝置、聲光指示報(bào)警裝置。
　　
　　⑤附件：主要包括置于爐體底部的16kW60℃水加熱器、電離真空計(jì)、8m3的中性氣體儲(chǔ)存罐、液壓裝載小車、加熱室維修架、氦質(zhì)譜檢漏儀。
　　
　　設(shè)備自動(dòng)化程度高。設(shè)備啟動(dòng)后，機(jī)械泵s*先對抽氣管道預(yù)抽真空3min～5min(由時(shí)間繼電器控制)，然后自動(dòng)對真空室抽真空。當(dāng)爐內(nèi)壓力達(dá)到6.6Pa以后，又自動(dòng)轉(zhuǎn)換（機(jī)械泵一油塵分離器一擴(kuò)散泵）對真空室抽真空。當(dāng)爐內(nèi)壓力達(dá)到工藝要求時(shí)便開始升溫。伊普森程序器自動(dòng)控制加熱速率、保溫溫度、保溫時(shí)間。設(shè)備在未啟動(dòng)前，按照工藝規(guī)程操作，當(dāng)爐內(nèi)壓力達(dá)到要求之后，則自動(dòng)進(jìn)行加熱一保溫程序。保溫結(jié)束后按三種方式（真空冷卻、氣體冷卻、風(fēng)扇冷卻），五種冷卻速率（真空冷卻，氣體回火冷卻速率、氣體淬火冷卻速率、風(fēng)扇回火冷卻速率、風(fēng)扇淬火冷卻速率）自動(dòng)冷卻。保護(hù)和連鎖系統(tǒng)相當(dāng)完善，任何一部分發(fā)生故障都能自動(dòng)停機(jī)，同時(shí)發(fā)出聲和光的報(bào)警信號(hào)，便于查找故障。例如4×104Pa觸點(diǎn)確保風(fēng)扇電機(jī)在低壓下不燒毀。
　　
　　設(shè)備維修方便。石墨棒加熱元件可單件從爐室直接更換，整體加熱室可用托架移出真空室外，進(jìn)行修理?？刂乒駥?dǎo)線接頭布局整齊，標(biāo)記清楚，一旦出現(xiàn)故障，便有聲光信號(hào)指示，易于尋找故障源。其它元件更換也方便，例如鉬片可單片更換，大大降低了設(shè)備的維修費(fèi)用。